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基板支架及包括该支架的基板支撑装置制造方法及图纸
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下载基板支架及包括该支架的基板支撑装置的技术资料
文档序号:26565566
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公开了一种基板支架及包括该支架的基板支撑装置。根据一个实施例的基板支架可包括:旋转部,其以旋转轴为中心旋转;支撑部,其以包裹在所述旋转部的圆周方向上的外面的形式连接于所述旋转部,通过外面支撑基板的边缘;第一紧固连接部,其形成于所述旋转部的外...
该专利属于凯斯科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过凯斯科技股份有限公司授权不得商用。
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