一种排气控制装置制造方法及图纸

本申请公开了一种排气控制装置，应用于刻蚀设备或显影设备，其包括：排气管；气压检测装置，所述气压检测装置包括气压传感器，所述气压传感器安装于所述排气管上，用于检测所述排气管内气体压强；电动流量调节阀，所述电动流量调节阀安装于所述排气管上；控制系统，所述控制系统与所述电动流量调节阀和所述气压传感器电连接，用于根据所述气体压强调节所述电动流量调节阀的开度。本申请的电动流量调节阀根据气体压强，自动控制阀门开度，实现智能化控制由刻蚀机台或显影设备的排气管道排出的气体流量。

【技术实现步骤摘要】
一种排气控制装置
本申请涉及芯片
，尤其涉及一种排气控制装置。
技术介绍
芯片，又称集成电路，是指内含集成电路的硅片，体积很小，常常是计算机或其他电子设备的一部分。芯片的制造包含刻蚀过程，即在晶圆上涂光刻胶层，通过刻蚀设备或显影设备将电路结构烙印在光刻胶层上，被曝光的光刻胶层成为水溶性物质，最后用气体吹掉水溶性物质。携带水溶性物质的气体经刻蚀设备或显影设备的排气管道导入与该排气管道连接的厂务设备管道，最后从厂务设备管道排出。目前在厂务设备管道上安装蝴蝶阀或气动阀，用于控制气体流通。蝴蝶阀可以控制气体的流量，但需要人工控制蝴蝶阀的排气量；气动阀可以自动控制，但仅能控制气体通断，无法控制排气量。
技术实现思路
因此，本专利技术提供一种排气控制装置，至少部分地解决上面提到的问题。本专利技术提供了一种排气控制装置，应用于刻蚀设备或显影设备，其包括：排气管；气压检测装置，所述气压检测装置包括气压传感器，所述气压传感器安装于所述排气管上，用于检测所述排气管内气体压强；电动流量调节阀，所述电动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种排气控制装置，应用于刻蚀设备或显影设备，其特征在于，包括：/n排气管；/n气压检测装置，所述气压检测装置包括气压传感器，所述气压传感器安装于所述排气管上，用于检测所述排气管内气体压强；/n电动流量调节阀，所述电动流量调节阀安装于所述排气管上；/n控制系统，所述控制系统与所述电动流量调节阀和所述气压传感器电连接，用于根据所述气体压强调节所述电动流量调节阀的开度。/n

【技术特征摘要】
1.一种排气控制装置，应用于刻蚀设备或显影设备，其特征在于，包括：
排气管；
气压检测装置，所述气压检测装置包括气压传感器，所述气压传感器安装于所述排气管上，用于检测所述排气管内气体压强；
电动流量调节阀，所述电动流量调节阀安装于所述排气管上；
控制系统，所述控制系统与所述电动流量调节阀和所述气压传感器电连接，用于根据所述气体压强调节所述电动流量调节阀的开度。


2.根据权利要求1所述的排气控制装置，其特征在于，所述电动流量调节阀上设有开度检测装置，
所述开度检测装置与所述控制系统电连接，用于检测所述电动流量调节阀的开度大小。


3.根据权利要求2所述的排气控制装置，其特征在于，还包括报警装置，所述报警装置与所述控制系统电连接，
所述电动流量调节阀的开度超过预设值时，所述控制系统控制所述报警装置报警。


4.根据权利要求1所述的排气控制装置，其特征在于，所述排气管底部...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪锋，
申请(专利权)人：厦门通富微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35