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本申请公开了一种排气控制装置，应用于刻蚀设备或显影设备，其包括：排气管；气压检测装置，所述气压检测装置包括气压传感器，所述气压传感器安装于所述排气管上，用于检测所述排气管内气体压强；电动流量调节阀，所述电动流量调节阀安装于所述排气管上；控制...
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