X射线分析装置制造方法及图纸

技术编号:2657917 阅读:241 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术的X射线分析装置其特征在于,设有在对正比计数管输出的脉冲进行脉冲幅度甄别的主脉冲幅度甄别器的道域宽度内形成其甄别道域宽度的副脉冲幅度甄别器,控制正比计数管的驱动电源使该副脉冲幅度甄别器的计数率为规定值。X射线分析时对正比计数管输出的脉冲进行脉冲幅度甄别的主脉冲幅度甄别器的道域宽度根据所测试的X射线波长设定得较窄,且样品测定时可实时地检出测定输出的峰移(能级位移)并进行测定输出的补偿,因而能提高分析精度,其构造也简单。(*该技术在2011年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及与正比计数管一起使用的波长离散型X射线分析装置。电磁波分析,是通过因电磁波与物质进行相互作用所产生的发光、吸收、反射、荧光、磷光、散射、衍射、旋光等现象,而可以获取物质的化学信息。以电磁波波长范围在X射线范围为对象的电磁波分析中,有使用X射线作激励源的X射线荧光分析(XRF)、使用集束至1微米以下的电子束的EPMA、和使用质子与氦离子等带电粒子束的PIXE等。照射样品,经这样激励而从样品放射出的元素固有的特征X射线由分光晶体分光后,可由探测器探测。用于将所探测的特征X射线计数的计数设备中,通常是包括放大探测器输出脉冲的放大器,在这些已放大的输出脉冲中甄别具有特定范围脉冲幅度值的脉冲的脉冲幅度甄别器(也称作脉冲幅度分析器)、以及对经该甄别器甄别的输出脉冲进行计数的计数器。探测器可使用例如正比计数管等气体封入型探测器,施加高电压后进行工作。这类探测器具有峰移(能级位移)现象,即入射的X射线强度变大时,探测器内的空间电荷量变多,从而降低有效的探测器电压,持续减小探测器输出脉冲幅度。一旦发生峰移(能级位移),就会出现下述问题即使是分析对象元素的特征X射线输出脉冲,也会增加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种X射线分析装置,其特征在于包括:(a)对正比计数管输出脉冲进行脉冲辐度甄别的主脉冲幅度甄别器;(b)对所述输出脉冲进行计数并转换为X射线强度信号的装置;(c)对所述正比计数管的能级位移的影响进行补偿的补偿器,所述补偿器包括:(i)具有设定在所述主脉冲幅度甄别器道域宽度范围内的道域的副脉冲幅度甄别器;(ii)经所述主脉冲幅度甄别器产生对所述正比计数管的驱动电源进行控制的信号的运算装置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:河合政夫
申请(专利权)人:株式会社岛津制作所
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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