用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体用石英环的台阶检测装置领域，具体涉及一种检测装置。用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置，包括底座、检测台、千分表、电感测微仪和固定装置，千分表和电感测微仪通过表架设置在检测台上，检测台上方挖设有第一通孔，电感测微仪的探针朝向第一通孔，固定装置位于检测台的前侧面下方；检测台倾斜的设置在底座上，检测台台面设有气孔，检测台内中部设有空腔，空腔通过进气开关与外部气源连接。本实用新型专利技术可同时进行两个平面台阶深度的检测，提高检测速度，操作简单，提高了检测准确性，效率高、成本低，减少资源浪费。

【技术实现步骤摘要】
用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置
本技术属于半导体用石英环的台阶检测装置领域，具体涉及一种检测装置。
技术介绍
随着半导体芯片产业景气向上，制程工艺的趋势是向密集度愈高的方向发展。尤其是使用在刻蚀设备上的部件(石英环)产品的质量要求越来越高，对于石英环的需求大幅度增长的背景下。传统的石英环的台阶检测装置是通过使用三坐标测量仪，通过将石英环放置于三坐标测量仪的检测台面上，通过手动控制探头到被测点上，进行台阶的检测，之后翻面进行另一面台阶检测，此方法在工作现场临时检测时，对所需检测环境和检测人员的要求非常高，尤其是对检测人员的检测专业性的要求很高，检测人的专业能力直接影响石英环的台阶尺寸检测准确性和检测效率。
技术实现思路
本技术针对现有的石英环的台阶检测装置，对所需检测环境和检测人员的要求非常高的技术问题，目的在于提供一种用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置。用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置，包括底座和位于所述底座上的检测台，还包括千分表、电感测微仪、用于支撑和固定石英环的固定装置，所述千分表通过表架设置在所述检测台前侧面下方，所述电感测微仪通过表架设置在所述检测台后侧面上方，所述检测台上方挖设有前后联通的第一通孔，所述电感测微仪的探针朝向所述第一通孔，所述固定装置位于所述检测台的前侧面下方；所述检测台倾斜的设置在所述底座上，所述检测台台面设有气孔，所述检测台内中部设有空腔，所述空腔通过进气开关与外部气源连接。本技术使用时，打开进气开关，外部气源(压缩空气)进入检测台内部的空腔中；石英环放置于检测台上，通过固定装置支撑固定；关闭进气开关，调节表架使千分表表针与电感测微仪探针分别接触石英环台阶；打开进气开关，抬起千分表表针，标准板放置于检测台之上；关闭进气开关，调节千分表与电感测微仪归零按钮使数值归零；打开进气开关，抬起千分表表针，待检测石英环放置于检测台之上；关闭进气开关，放下千分表表针通过千分表数值与电感测微仪数值进行测量石英环台阶深度，转动石英环进行若干次检测取平均值。本技术通过上述设计后，可用于石英环加工过程中临时检测，提高了检测速度，降低了检测成本，提高了生产能力，亦可用于抛光后石英环的检测，提高了产品的品质。所述千分表通过一个表架设置在所述检测台前侧面下方，所述电感测微仪通过另外两个表架设置在所述检测台后侧面上方。所述底座上设有三个高度调节旋钮，三个所述高度调节旋钮呈品字型且通过螺纹连接设置在所述底座上，所述检测台放置于三个所述高度调节旋钮之上。本技术可以通过调节三个高度调节旋钮来调节检测台至合适角度。所述检测台的台面平面度≤0.001mm。所述检测台台面采用环氧板，所述环氧板表面均匀的设置有所述气孔。所述固定装置包括齿轮条、固定于所述齿轮条上的两个固定位置轴承、与所述齿轮条啮合的齿轮，所述齿轮通过连接轴连接固定位置调节旋钮；所述齿轮条通过轴承固定在所述检测台上。本技术在旋转固定位置调节旋钮后，通过齿轮的咬合带动齿轮条横向移动，进而调节两个固定位置轴承间距，进而可以实现调节石英环的位置。所述齿轮条嵌在所述检测台前侧面下方，两个所述固定位置轴承伸出于所述检测台表面；所述检测台下方挖设有前后联通的第二通孔，所述固定位置调节旋钮从前向后穿过所述第二通孔后，伸出于所述检测台后侧面。以便于在从检测台后侧面后方的固定位置调节旋钮调节固定位置轴承的位置时，能直观的从检测台前侧面观察固定位置轴承。所述检测台后侧面上挖设有联通所述空腔和外部的第三通孔，所述进气开关连接所述第三通孔。所述进气开关可以采用阀门等气体开关器件。所述第一通孔顶部采用敞开式结构，致使所述第一通孔形成U字型通孔。在电感测微仪的探针可以穿过第一通孔进行检测的同时，以便于调节或拿取石英环或标准板。本技术的积极进步效果在于：本技术的用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置，具有如下优点：(1)可同时进行两个平面台阶深度的检测，提高检测速度；(2)操作简单，提高了检测准确性；(3)效率高、成本低，减少资源浪费。附图说明图1为本技术的一种整体立体图；图2为图1的另一侧立体图；图3为本技术检测台的一种结构示意图；图4为图3的一种剖视图；图5为本技术固定装置的一种结构示意图；图6为本技术高度调节旋钮的一种结构示意图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示进一步阐述本技术。参照图1至图6，用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置，包括底座1、高度调节旋钮2、检测台3、表架4、千分表5、电感测微仪6、固定装置8、进气开关9。底座1上设有三个高度调节旋钮2，三个高度调节旋钮2呈品字型且通过螺纹连接设置在底座1上，检测台3倾斜的放置于三个高度调节旋钮2之上。本技术通过调节三个高度调节旋钮2来调节检测台3至合适角度。参照图3和图4，检测台3的台面平面度≤0.001mm。检测台3台面采用环氧板，环氧板表面均匀的设置有若干气孔31。检测台3内中部设有空腔32，空腔32通过进气开关9与外部气源连接。检测台3后侧面上挖设有联通空腔32和外部的第三通孔，进气开关9连接第三通孔。进气开关9采用阀门等气体开关器件。千分表5通过一个表架4设置在检测台3前侧面下方，电感测微仪6通过另外两个表架4设置在检测台3后侧面上方。检测台3上方挖设有前后联通的第一通孔33，电感测微仪6的探针朝向第一通孔33。第一通孔33顶部采用敞开式结构，致使第一通孔33形成U字型通孔。在电感测微仪6的探针穿过第一通孔33进行检测的同时，以便于调节或拿取石英环7或标准板。参照图1和图5，固定装置8用于支撑和固定石英环7或标准板，固定装置8位于检测台3的前侧面下方。固定装置8包括齿轮条81、固定于齿轮条81上的两个固定位置轴承82、与齿轮条81啮合的齿轮83，齿轮83通过连接轴连接固定位置调节旋钮84；齿轮条81通过轴承85固定在检测台3上。本技术在旋转固定位置调节旋钮84后，通过齿轮83的咬合带动齿轮条81横向移动，进而调节两个固定位置轴承82间距，进而可以实现调节石英环7的位置。齿轮条81嵌在检测台3前侧面下方，两个固定位置轴承82伸出于检测台3表面；检测台3下方挖设有前后联通的第二通孔，固定位置调节旋钮84从前向后穿过第二通孔后，伸出于检测台3后侧面。以便于在从检测台3后侧面后方的固定位置调节旋钮84调节固定位置轴承82的位置时，能直观的从检测台3前侧面观察固定位置轴承82。本技术使用时，调节后侧较长的高度调节旋钮2至合适角度，之后调节前侧两个较短的高度调节旋钮2至横向水平，完成检测台3的调节；打开进气开关9，外部气源(压缩空气)进入检测台3内部的空腔32中；石英环7放置于检测台3上与固定位置轴承82接触本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置，包括底座和位于所述底座上的检测台，其特征在于，还包括千分表、电感测微仪、用于支撑和固定石英环的固定装置，所述千分表通过表架设置在所述检测台前侧面下方，所述电感测微仪通过表架设置在所述检测台后侧面上方，所述检测台上方挖设有前后联通的第一通孔，所述电感测微仪的探针朝向所述第一通孔，所述固定装置位于所述检测台的前侧面下方；/n所述检测台倾斜的设置在所述底座上，所述检测台台面设有气孔，所述检测台内中部设有空腔，所述空腔通过进气开关与外部气源连接。/n

【技术特征摘要】
1.用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置，包括底座和位于所述底座上的检测台，其特征在于，还包括千分表、电感测微仪、用于支撑和固定石英环的固定装置，所述千分表通过表架设置在所述检测台前侧面下方，所述电感测微仪通过表架设置在所述检测台后侧面上方，所述检测台上方挖设有前后联通的第一通孔，所述电感测微仪的探针朝向所述第一通孔，所述固定装置位于所述检测台的前侧面下方；
所述检测台倾斜的设置在所述底座上，所述检测台台面设有气孔，所述检测台内中部设有空腔，所述空腔通过进气开关与外部气源连接。


2.如权利要求1所述的用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置，其特征在于，所述千分表通过一个表架设置在所述检测台前侧面下方，所述电感测微仪通过另外两个表架设置在所述检测台后侧面上方。


3.如权利要求1所述的用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置，其特征在于，所述底座上设有三个高度调节旋钮，三个所述高度调节旋钮呈品字型且通过螺纹连接设置在所述底座上，所述检测台放置于三个所述高度调节旋钮之上。


4.如权利要求1所述的用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置，其特征在于，所述检测台的台面平面度≤0.001mm。


5.如权利要求1所述的用于半导体用石英环的台阶临...

【专利技术属性】
技术研发人员：单佩，
申请(专利权)人：上海菲利华石创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31