【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体用石英环台阶抛光装置
[0001]本专利技术属于半导体加工设备
，具体涉及一种用于半导体用石英环台阶抛光装置。
技术介绍
[0002]在半导体行业，石英被广泛应用，高纯石英制品更是晶圆生产中的重要耗材。刻蚀工艺是半导体工艺中较为复杂，也相当重要的一个，随着半导体产业景气向上，制程工艺的趋势是向密集度愈高的方向发展。尤其是使用在刻蚀设备上的石英零件产品的质量要求越来越高，对于石英环零件的光洁度与平面度的技术指标需求大幅度提高的背景下。
[0003]传统的石英环的台阶抛光装置是通过氢气与氧气的火焰抛光，通过将石英环放置于石墨台面上，通过将氢气与氧气通过石英火枪后燃烧，对石英环台阶进行火焰灼烧，通过火焰加热石英环表面，石英表面温度升高，当达到适合温度石英表面融化，因此达到抛光的效果，之后在进行退火处理，此方法在石英环的台阶抛光时，对所需抛光环境和热加工人员的要求非常高，尤其是对火焰抛光人员的加工专业性的要求很高，人员的专业能力直接影响石英环的光洁度以及产品内应力，使产品发生变形，严重影响产品平面度与平行...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体用石英环台阶抛光装置，包括机座、抛光盘和转动盘，其特征在于，还包括一可自转与摆动的抛光组件，所述抛光组件的底部设置有所述抛光盘；所述抛光组件包括：一抛光头固定架，安装在机座上；一摆幅机构，安装在所述抛光头固定架上，具有可做水平往复运动的摆动滑块；一气缸固定架，安装在所述摆动滑块上，由所述摆动滑块带动所述气缸固定架做水平往复运动；一气缸，安装在所述气缸固定架上；一自转电机，安装在所述气缸固定架上；一传动轴，所述传动轴中部通过传动机构连接所述自转电机，由所述自转电机带动所述传动轴转动；一气缸连接器，由所述气缸连接器连接所述气缸的气门顶杆和所述传动轴顶部，所述气缸连接器与所述传动轴之间设置有第一轴承；一抛光盘固定器，由所述抛光盘固定器连接所述传动轴底部和所述抛光盘。2.如权利要求1所述的一种用于半导体用石英环台阶抛光装置，其特征在于，所述摆幅机构包括：一摆幅电机，安装在所述抛光头固定架上；一偏心座，安装在所述摆幅电机的电机轴上；一偏心轴，安装在所述偏心座上；一连杆，两端分别连接所述偏心轴和所述摆动滑块；一导轨，安装在所述抛光头固定架上，长度方向为水平方向，与所述摆动滑块滑动连接。3.如权利要求1所述的一种用于半导体用石英环台阶抛光装置，其特征在于，所述传动机构包括：一主动轮，安装在所述自转电机的电机轴上，由所述自转电机带动所述主动轮转动；一同步轮，安装在所述传动轴外；一皮带，闭合连接所述主动轮和所述同步轮，由所述主动轮经所述皮带带动所述同步轮转动；至少一个轴套，与所述气缸固定架通过第二轴承连接，所述轴套内穿设有所述传动轴，所述轴套与所述同步轮固定，所述轴套内壁上设置有键槽，所述键槽的长度方向与所述传动轴的轴向一致；所述传动轴上安装有方键，所述传动轴与所述轴套穿设时，所述方键嵌入于所述键槽内。4.如权利要求3所述的一种用于半导体用石英环台阶抛光装置，其特征在于，所述气缸固定架上设置有两个轴固定板，两个所述轴固定板上下设置，所述轴固定板上设置有连接通孔，每个所述连接通孔上均设置有一个所述轴套，所述轴套与所述连接通孔内壁之间通过所述第二轴承连接，所述同步轮位于两个所述轴套之间。5.如权利要求1所述的一种用于半导体用石英环台阶抛光装置，其特征在于，所述气缸连接器的上部具有与所述气缸的气门顶杆连接的上凹槽，所述气缸连接器的下部具有与所
述传动轴顶部连接的下凹槽，所述第一轴承设置在所述下凹槽内；所述气缸连接器的下方设置有用于固定所述第一轴承的轴承固定板。6.如权利要求1所述的一种用于半导体用石英环台阶抛光装置，其特征在于，所述抛光盘上部与所述抛光盘固定器可拆卸连接，所述抛光盘下部为外径从下至上逐渐减小的圆台形结构。7.如权利要求1至6中任意一项...
【专利技术属性】
技术研发人员：单佩，
申请(专利权)人：上海菲利华石创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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