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本发明属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种用于半导体用石英环台阶抛光装置，包括机座、抛光盘和转动盘，还包括抛光组件，抛光组件的底部设置有抛光盘；抛光组件包括：抛光头固定架，安装在机座上；摆幅机构，安装在抛光头固定架上，具有可做水平往复运...
该专利属于上海菲利华石创科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海菲利华石创科技有限公司授权不得商用。

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