一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺制造方法及图纸

一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺，涉及感光化学技术领域。制备装置包括用于储备原料硝酸的第一储槽、用于储备原料磷酸的第二储槽、用于储备原料冰醋酸的第三储槽、用于储备原料超纯水的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺基于制备装置来实现，操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺
本专利技术涉及感光化学
，具体而言，涉及一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺。
技术介绍
现有的用于制备电子级铝蚀刻液的设备结构较为复杂，各个部件之间的配合控制难度也较高，使用起来相对繁琐，生产效率在一定程度上受到了抑制。有鉴于此，特提出本申请。
技术实现思路
本专利技术的第一个目的在于提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。本专利技术的第二个目的在于提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备工艺，其操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。本专利技术的实施例是这样实现的：一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其包括：用于储备原料硝酸的第一储槽、用于储备原料磷酸的第二储槽、用于储备原料冰醋酸的第三储槽、用于储备原料超纯水的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器的进口连通。进一步地，精密过滤器的滤芯包括：骨架和滤材。骨架包括辅助叶和呈圆筒状的中心筒体，辅助叶包括第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶。中心筒体的侧壁开设有供滤液通过的过液通道。第一延伸叶和第三延伸叶均沿中心筒体的径向延伸设置，且二者均沿中心筒体的轴向连续设置。第二延伸叶呈圆弧状，第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线同中心筒体的轴心线平行设置，第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线位于其靠近中心筒体的一侧。第二延伸叶也沿中心筒体的轴向连续设置。第一延伸叶连接于中心筒体的外壁，第二延伸叶连接于第一延伸叶的远离中心筒体的一端，第三延伸叶连接于第二延伸叶的远离第一延伸叶的一端。多组辅助叶沿中心筒体的周向间隔设置，相邻两组辅助叶中一者的第一延伸叶位于另一者的第二延伸叶和中心筒体之间的区域。进一步地，第二延伸叶所对应的圆柱的半径大于中心筒体的半径。进一步地，第一延伸叶沿第二延伸叶所对应的圆柱的径向设置。进一步地，相邻两组辅助叶中，二者的第一延伸叶之间的最小间距为第一预设间距，二者的第二延伸叶之间的最小间距为第二预设间距，二者的第三延伸叶之间的最小间距为第三预设间距。其中，第三预设间距＞第一预设间距＞第二预设间距。进一步地，骨架还包括：第四延伸叶。第四延伸叶呈圆筒状并同中心筒体同轴设置，第四延伸叶的内壁同第三延伸叶的远离第二延伸叶的一端连接。沿中心筒体的轴向，中心筒体、第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶和第四延伸叶四者的长度相同。第四延伸叶开设有供滤液通过的缺口，缺口沿第四延伸叶的周向连续延伸呈环状。缺口靠近第四延伸叶的一端端部设置，过液通道设置于中心筒体的远离缺口的一端。进一步地，中心筒体的过液通道沿中心筒体的周向连续延伸呈环状。进一步地，骨架还包括：第四延伸叶。第四延伸叶呈圆筒状并同中心筒体同轴设置，第四延伸叶的内壁同第三延伸叶的远离第二延伸叶的一端连接。沿中心筒体的轴向，中心筒体、第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶和第四延伸叶四者的长度相同。第四延伸叶开设有供滤液通过的缺口，缺口沿第四延伸叶的周向延伸，沿第四延伸叶的周向，缺口所对应的圆心角度数小于相邻两组辅助叶的第三延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数。相邻两组辅助叶的第三延伸叶之间的区域均对应设置有一个缺口。进一步地，中心筒体的过液通道也沿中心筒体的周向延伸，沿中心筒体的周向，过液通道所对应的圆心角度数小于相邻两组辅助叶的第一延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数。相邻两组辅助叶的第一延伸叶之间的区域均对应设置有一个过液通道。过液通道所对应的圆心角度数与相邻两组辅助叶的第一延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数之间的比值为第一预设比值，缺口所对应的圆心角度数与相邻两组辅助叶的第三延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数之间的比值为第二预设比值，第一预设比值同第二预设比值相等。一种利用上述的制备装置制备电子级铝蚀刻液的制备工艺，其包括：按预设比例于混配槽中混配原料硝酸、原料磷酸、原料冰醋酸和原料超纯水，经精密过滤器过滤后分装入库。本专利技术实施例的有益效果是：本专利技术实施例提供的用于电子级铝蚀刻液的制备装置在使用过程中，利用第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽直接对各种原料进行生产前存储，在生产开始后，按对应比例将各个原料输入到混配槽中完成混配，经检验合格后，经精密过滤器过滤，即可进行分装入库。总体而言，本专利技术实施例提供的用于电子级铝蚀刻液的制备装置结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。本专利技术实施例提供的用于电子级铝蚀刻液的制备工艺操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术实施例提供的制备装置的结构示意图；图2为图1中制备装置的精密过滤器的结构示意图；图3为图2中精密过滤器的滤芯的结构示意图；图4为图3中滤芯的骨架的结构示意图；图5为图3中滤芯的骨架的立体结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的制备工艺的流程示意图；图7为骨架的另一种结构的第一视角的结构示意图；图8为图7中骨架的第二视角的结构示意图；图9为图7中骨架的第三视角的结构示意图；图10为图7中骨架的第二视角的内部结构示意图；图11为骨架的又一种结构的第一视角的结构示意图；图12为图11中骨架的第二视角的结构示意图；图13为图11中骨架的第三视角的结构示意图；图14为图11中骨架的第二视角的内部结构示意图。图标：制备装置1000；第一储槽100；第二储槽200；第三储槽300；第四储槽400；混配槽500；精密过滤器600；滤芯700；骨架710、710’、710”；中心筒体711；过液通道711a；辅助叶712；第一延伸叶712a；第二延伸叶712b；第三延伸叶712c；第一预设间距D1；第二预设间距D2；第三预设间距D3；滤材720；第四延伸叶712d；缺口712d’。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其特征在于，包括：/n用于储备原料硝酸的第一储槽；/n用于储备原料磷酸的第二储槽；/n用于储备原料冰醋酸的第三储槽；/n用于储备原料超纯水的第四储槽；/n混配槽；以及/n精密过滤器；/n所述第一储槽、所述第二储槽、所述第三储槽和所述第四储槽均同所述混配槽选择性地连通，所述混配槽的出口同所述精密过滤器的进口连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其特征在于，包括：
用于储备原料硝酸的第一储槽；
用于储备原料磷酸的第二储槽；
用于储备原料冰醋酸的第三储槽；
用于储备原料超纯水的第四储槽；
混配槽；以及
精密过滤器；
所述第一储槽、所述第二储槽、所述第三储槽和所述第四储槽均同所述混配槽选择性地连通，所述混配槽的出口同所述精密过滤器的进口连通。


2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述精密过滤器的滤芯包括：骨架和滤材；所述骨架包括辅助叶和呈圆筒状的中心筒体，所述辅助叶包括第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶；所述中心筒体的侧壁开设有供滤液通过的过液通道；
所述第一延伸叶和所述第三延伸叶均沿所述中心筒体的径向延伸设置，且二者均沿所述中心筒体的轴向连续设置；所述第二延伸叶呈圆弧状，所述第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线同所述中心筒体的轴心线平行设置，所述第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线位于其靠近所述中心筒体的一侧；所述第二延伸叶也沿所述中心筒体的轴向连续设置；所述第一延伸叶连接于所述中心筒体的外壁，所述第二延伸叶连接于所述第一延伸叶的远离所述中心筒体的一端，所述第三延伸叶连接于所述第二延伸叶的远离所述第一延伸叶的一端；
多组所述辅助叶沿所述中心筒体的周向间隔设置，相邻两组所述辅助叶中一者的所述第一延伸叶位于另一者的所述第二延伸叶和所述中心筒体之间的区域。


3.根据权利要求2所述的制备装置，其特征在于，所述第二延伸叶所对应的圆柱的半径大于所述中心筒体的半径。


4.根据权利要求3所述的制备装置，其特征在于，所述第一延伸叶沿所述第二延伸叶所对应的圆柱的径向设置。


5.根据权利要求4所述的制备装置，其特征在于，相邻两组所述辅助叶中，二者的所述第一延伸叶之间的最小间距为第一预设间距，二者的所述第二延伸叶之间的最小间距为第二预设间距，二者的所述第三延伸叶之间的最小间距为第三预设间距；其中，所述第三预设间距＞所述第一预设间距＞所述第二预设间距。


6.根据权利要求5所述的制备装置，其特征在于，所述骨架还包括：第四延伸叶；所述第四延伸叶呈圆筒状并同所述中心筒...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈重佑，吴全贵，赖延恩，陈国民，艾合买提艾尔肯，李文斌，郑义达，骆彦成，任建业，刘奕丰，
申请(专利权)人：福建天甫电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35