一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺制造方法及图纸

一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺，涉及感光化学技术领域。制备装置包括用于储备原料硝酸的第一储槽、用于储备原料磷酸的第二储槽、用于储备原料冰醋酸的第三储槽、用于储备原料超纯水的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺基于制备装置来实现，操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺
本专利技术涉及感光化学
，具体而言，涉及一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺。
技术介绍
现有的用于制备电子级铝蚀刻液的设备结构较为复杂，各个部件之间的配合控制难度也较高，使用起来相对繁琐，生产效率在一定程度上受到了抑制。有鉴于此，特提出本申请。
技术实现思路
本专利技术的第一个目的在于提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。本专利技术的第二个目的在于提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备工艺，其操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。本专利技术的实施例是这样实现的：一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其包括：用于储备原料硝酸的第一储槽、用于储备原料磷酸的第二储槽、用于储备原料冰醋酸的第三储槽、用于储备原料超纯水的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其特征在于，包括：/n用于储备原料硝酸的第一储槽；/n用于储备原料磷酸的第二储槽；/n用于储备原料冰醋酸的第三储槽；/n用于储备原料超纯水的第四储槽；/n混配槽；以及/n精密过滤器；/n所述第一储槽、所述第二储槽、所述第三储槽和所述第四储槽均同所述混配槽选择性地连通，所述混配槽的出口同所述精密过滤器的进口连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其特征在于，包括：
用于储备原料硝酸的第一储槽；
用于储备原料磷酸的第二储槽；
用于储备原料冰醋酸的第三储槽；
用于储备原料超纯水的第四储槽；
混配槽；以及
精密过滤器；
所述第一储槽、所述第二储槽、所述第三储槽和所述第四储槽均同所述混配槽选择性地连通，所述混配槽的出口同所述精密过滤器的进口连通。


2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述精密过滤器的滤芯包括：骨架和滤材；所述骨架包括辅助叶和呈圆筒状的中心筒体，所述辅助叶包括第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶；所述中心筒体的侧壁开设有供滤液通过的过液通道；
所述第一延伸叶和所述第三延伸叶均沿所述中心筒体的径向延伸设置，且二者均沿所述中心筒体的轴向连续设置；所述第二延伸叶呈圆弧状，所述第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线同所述中心筒体的轴心线平行设置，所述第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线位于其靠近所述中心筒体的一侧；所述第二延伸叶也沿所述中心筒体的轴向连续设置；所述第一延伸叶连接于所述中心筒体的外壁，所述第二延伸叶连接于所述第一延伸叶的远离所述中心筒体的一端，所述第三延伸叶连接于所述第二延伸叶的远离所述第一延伸叶的一端；
多组所述辅助叶沿所述中心筒体的周向间隔设置，相邻两组所述辅助叶中一者的所述第一延伸叶位于另一者的所述第二延伸叶和所述中心筒体之间的区域。


3.根据权利要求2所述的制备装置，其特征在于，所述第二延伸叶所对应的圆柱的半径大于所述中心筒体的半径。


4.根据权利要求3所述的制备装置，其特征在于，所述第一延伸叶沿所述第二延伸叶所对应的圆柱的径向设置。


5.根据权利要求4所述的制备装置，其特征在于，相邻两组所述辅助叶中，二者的所述第一延伸叶之间的最小间距为第一预设间距，二者的所述第二延伸叶之间的最小间距为第二预设间距，二者的所述第三延伸叶之间的最小间距为第三预设间距；其中，所述第三预设间距＞所述第一预设间距＞所述第二预设间距。


6.根据权利要求5所述的制备装置，其特征在于，所述骨架还包括：第四延伸叶；所述第四延伸叶呈圆筒状并同所述中心筒...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈重佑，吴全贵，赖延恩，陈国民，艾合买提艾尔肯，李文斌，郑义达，骆彦成，任建业，刘奕丰，
申请(专利权)人：福建天甫电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35