空间磁场测试系统技术方案

本实用新型专利技术为一种空间磁场测试系统，其包括：一测量执行机构，其包括：一测试探头、ｘ方向运动组件以及ｙ方向运动组件，通过所述的测量执行机构中测试探头的运动实现对不同空间位置的磁场强度进行测定；一控制柜，其与所述的测量执行机构相连接，用以控制所述的测量执行机构中ｘ方向运动组件以及ｙ方向运动组件输出位移；一计算机，其与所述的控制柜相连接，并接受所述的测试探头获得的测试信号，根据预设程序获取反应空间磁场状况测试数据。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及的是一种自动测量装置，特别涉及的是一种应用于磁控溅 射生产中的空间》兹场测试系统。
技术介绍
随着国家对节能环保的重视程度日益加深，作为建筑行业所选择的建筑材 料也存在的具体的要求，为此大量的建筑物都在使用具有大面积镀膜的玻璃， 其已成为建筑行业的规范之一，而目前比较主流的大面积镀膜工艺为磁控溅射 镀膜工艺。所述的磁控溅射镀膜工艺是70年代后发展起来的新型镀膜工艺，其是通过 电子在电场作用下加速飞向基片的过程中与惰性气体氩原子发生碰撞，电离出 大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材， 溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。同时 二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束绰在靠近靶 面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下 围绕靶面作圓周运动，该电子的运动路径很长，在运动过程中不断的与氩原子 发生碰撞因此电离出大量的氩离子轰击乾材，经过多次碰撞后电子的能量逐渐 降低，摆脱磁力线的束缚和延长电子的运动路径，改变电子的运动方向，从而 提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。其中，镀膜玻璃的膜厚均匀性 是镀膜玻璃的非常重要的一个性能指标，他会直接影响到产品的外观质量和使 用效果。国家标准要求低辐射玻璃光学性能允许最大偏差为1.5%(明示标称值) 或小于3.0% (未明示标称值)，当均匀性超过一定范围时，肉眼即可从玻璃面 感觉到色差。当前的建筑幕墙玻璃都采用大面积镀膜玻璃，在磁控溅射中，约 束金属离子溅射区域的磁场的均匀性直接影响着所镀膜层的均匀性，因此保证 磁场的均匀性问题一直是工艺调试中十分重要而又令人头疼的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种空间磁场测试系统，用以解决现有技术 存在的问题，满足磁控溅射的生产需求。为实现上述目的，本技术采用的技术方案在于，提供一种空间磁场测试系统，其包括一测量执行机构，其包括 一测试探头、x方向运动组件以及y方向运动组 件，通过所述的测量执行机构中测试探头的运动实现对不同空间位置的磁场强 度进行测定；一控制拒，其与所述的测量执行机构相连接，用以控制所述的测量执行机 构中x方向运动组件以及y方向运动组件输出位移；一计算机，其与所述的控制拒相连接，并接受所述的测试探头的测试信号， 根据预设程序获取空间磁场测试数据；较佳的，所述的测量执行机构还包括一工作台；一移动臂，与所述的工作台相平行，所述的测试探头设置于所述的移动臂 的一端；所述的x方向组件包4舌一 x方向滚珠丝^工以及一 x方向电才几，所述的x 方向滚珠丝杠与所述的移动臂相连接，所述的x方向电机与所述的x方向滚珠 丝杠输入端相连接；所述的y方向组件包4舌一 y方向;衮珠丝一工以及一 y方向电才几，所述的y 方向滚珠丝杠通过一结合部与所述x方向滚珠丝杠的滑板相固接，所述的y方 向滚珠丝杠设置与所述的工作台上，其输入端与所述的y方向电机相连接；较佳的，还包括 一信号传送器，其分别与所述的测试探头和所述的计算 机相连接，用以进行数据的传输；较佳的，还包括一 z方向滚珠丝杠设置在所述的x方向滚珠丝杠的滑板 与所述的移动臂之间，在所述的z方向滚珠丝杠输入端设置有z方向电机，所述 的z方向电机与所述的控制拒相连接，用以实现移动臂z方向的移动；较佳的，还包括 一螺紋连接结构，其具有外螺紋结构的一端与所述的移 动臂相螺接，另一端与所述的测试探头相固接，通过转动螺紋改变螺接深度， 调整所述测试探头在z方向的高度；较佳的，所述的电机为步进电机或祠服电机；较佳的，所述的测试探头为霍尔探头。与现有技术比较本技术的有益效果在于， 一方面，、实现对磁钢阵列 的空间气隙场测量，以便于对磁钢安装和调整，并可实现测量数据的远传及保 存，能够向工艺调试人员直观的反映磁钢阵列的空间气隙磁场状况，大大的方便了磁钢的粘接和排列；另 一方面，本系统通过应用霍尔组件的霍尔效应来对^皮测物体表面的气隙 磁场进行测量，测量全过程由计算机控制自动完成，可根据不同需要进行浮点 法和定点法进行测量。测量过程由电机对霍尔组件进行空间三维定位，霍尔组 件采集的数据由信号传送器进行初步处理后通过串口反馈计算机，由计算机完 成对数据进一步处理、进行纪录，并按要求绘制图表。具有软件界面简洁明了， 易于操作；测量过程方便快捷；测量结果精确、稳定可靠等特点。附图说明图1为本技术空间磁场测试系统的功能结构框图2为本技术空间/F兹场测试系统的测量执行机构側^L结构简图3为本技术空间磁场测试系统的控制拓朴筒图。附图标记说明l-测量执行机构；ll-霍尔探头；12-信号传送器；13-z方向 电机；14-y方向电机；15-x方向电机；16-移动臂；17-x方向滚珠丝杠；18-y方 向滚珠丝杠；2-计算机；3-控制拒；4-测试阴极；5-工作台；51-抬腿；7-螺紋连 接结构。具体实施方式以下结合附图，对本新型上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。请参阅图1所示，其为本技术空间磁场测试系统的功能结构框图；所 述的空间^兹场测试系统，其包括一测量执行机构1,其包括 一测试探头、x方向运动组件以及y方向运动 组件，通过所述的测量执行;bL构1中测试探头的运动实现对一确定空间不同位 置的磁场状态进行测定；一控制拒3，其与所述的测量执行机构l相连接，用以控制所述的测量执行 机构1中x方向运动组件以及y方向运动组件的输出的位移；一计算机l,其与所述的控制拒3相连接，并接受所述的测试探头的测试信号，根据预设程序获取空间磁场测试数据，通过所述的计算机1输出相应的指 令，同时通过计算机1界面反应出空间磁场分布规律和强度情况。请参阅图2所示，其为本技术空间磁场测试系统的测量执行机构侧视结构简图；其包括 一工作台5,所述的工作台5实际上是一个测量的潜在基准， 因此其所具有的抬腿51 ，与所述的工作地面之间的接合要保证桌面与工作地面 的平行度；一移动臂16，与所述的工作台5相平行，所述的测试探头ll设置于所述的 移动臂16的一端，所述的测量阴极4就设置于所述的测试探头11下部，这里 根据霍尔效应原理，将磁场的状态转换为一磁场状态相对应的电信号，从而便 于对数据的处理和存储，因而所述的测试探头ll为霍尔探头11;所述的x方向iEL件包括一 x方向滚珠丝杠17以及一 x方向电才几，所述的 x方向滚珠丝杠17与所述的移动臂16相连4妄，所述的x方向电才几与所述的x方 向滚珠丝^工17输入端相连才秦；所述的y方向组件包括一y方向滚珠丝杠18以及一y方向电机，所述的 y方向滚珠丝杠18通过一结合部与所述x方向滚珠丝杠17的滑板相固接，所述 的y方向滚珠丝杠18设置与所述的工作台5上，其输入端与所述的y方向电机 相连接；还包括 一螺紋连接结构7,其具有外螺紋的一端与所述的移动臂16相螺 接，另一端与所述的测试探头11相固接，所述的螺紋的螺距是预先设置好的并 具有一定的精度，通过人工的转动螺紋改变螺接深度，调整并确定所述测试探 头11在z方向的高度。进而由x方向组件实现在x方向的进给运动，获得坐标参数xi;由y方向 组件实现在y方向的进给运动，获得坐标参yi;通过人工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空间磁场测试系统，其特征在于，其包括：　一测量执行机构，其包括：一测试探头、ｘ方向运动组件以及ｙ方向运动组件，通过所述的测量执行机构中测试探头的运动实现对不同空间位置的磁场强度的测定；　一控制柜，其与所述的测量执行机构相连接，用以控制所述的测量执行机构中ｘ方向运动组件以及ｙ方向运动组件输出的位移；　一计算机，其与所述的控制柜相连接，并接受所述的测试探头的测试信号，根据预设程序获取空间磁场状况的测试数据。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：施玉安，何光俊，
申请(专利权)人：上海北玻镀膜技术工业有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]