外加电压的电流测量装置及所用具有开关的电流缓存器制造方法及图纸

一种外加电压的电流检测装置，用于向负载装置施加规定电压并且测量流向此负载装置的电流，包括：电流范围转换部分，具有：串联连接多个电流缓存器的多对开关；具有能够响应所提供的控制信号使能电连接或脱离的输出级，和不同电阻值的电流测量电阻分别 连接到具有开关的电流缓存器的输出级，其中，由控制信号选择多对开关中的任何一对转换所述电流测量范围，具有所述被选择对开关的电流缓存器的所述输出级处于连接状态；直流电源部分，经过具有开关的电流缓存器和由电流范围转换装置所选择的电流测量电 阻的串联向负载装置提供规定的直流电压；以及位差测量装置，测量由于伴随在所述负载装置上的所述直流电压的施加并从具有所选择串联连接的开关的电流缓存器流向所述负载装置的电流而导致的在所述串联连接的电流测量电阻两端的位差，以作为对应于在所述 负载装置中流过的电流的值。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术属于半导体测试装置的外加电压电流测量装置及其所使用的具有开关的电流缓存器，为了小型化，模拟电路可设计成MCM(多芯片模块)，或者IC(集成电路)。
技术介绍
在日本专利申请Kokai公开No.5-119110中，公开了一种在IC测量装置的直流测试中使用的直流测量设备，该直流测量设备向负载(被测设备，DUT)和开关提供一置位恒流或者一恒压，根据所述负载电流范围，检测电阻检测所述负载中产生的电压或者那时流过所述负载的电流。在日本专利申请Kokai公开No.8-54424的中，公开了一种外加电压电流测量装置，其中去除了所述范围转换电路并且获得了更高的速度和更小的尺寸。在日本专利申请Kokai公开No.10-10162的中，公开了一种，即在一电流检测电路以及一外加电压电流测量电路和一使用所述电路的恒流源电路中，该电流检测电路中转换所述电流检测电阻的防漏继电器的数量已被减少。图1A简单地示出了在前述日本专利申请Kokai公开No.10-10162的中公开的所述常规外加电压电流测量电路的配置。此外，如通常对半导体测试装置所做的，图1A所示外加电压的电流测试电路分别被提供给与被测试设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：中原久晴，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：