【技术实现步骤摘要】
本专利技术是与探针装置有关,特别是指一种用于探针装置的定位件。
技术介绍
如图11所示,一般用于测试半导体芯片的探针装置80,包含一上基座81、一下基座82,以及多数探针90,如图12所示,各探针90的头部92截面概呈圆形,身部94的截面可为椭圆形或方形;为了方便组装探针装置80的各组成构件,通常会先将各探针90的头部92定位于一定位件84,定位件84是以挠性片体制成,且具有多数呈贯穿状的开孔85,开孔85的形状相似于探针90头部92的截面形状,各探针90的头部92穿设于定位件84的开孔85,使开孔85可拘束探针90,并且再容置于上基座81的导引孔86,使各探针90的身部94延伸至下基座82。然而,在组装上述探针装置80的时候,由于是先将定位件84设于下基座82,再使各探针90穿过定位件84的各开孔85,各探针90必须以呈椭圆形的身部94穿过各开孔85,并且强制改变开孔85的外形,才能让各探针90的头部92设于开孔85内,因此,探针90容易会因为与开孔85的壁面相互干涉接触而产生结构破损,甚至是断裂的状况;而且,在组装各探针90的时候,各探针90必须施力才能穿 ...
【技术保护点】
一种用于探针装置的定位件,其特征在于,该定位件具有多数呈贯穿状的开口,且于各该开口的周围设有至少一裂缝,该等裂缝是自各该开口的壁面向外延伸。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:林信宏,尤嘉祥,
申请(专利权)人:旺矽科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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