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具有高灵敏探头的高分辩磁性旋转编码器制造技术

技术编号:2648563 阅读:255 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种磁旋转编码器,特别涉及一种用来检测旋转物体的绝对旋转位置,具有高的分辨率和灵敏度的磁旋转编码器。本新型是由磁鼓和探头构成,其特征在于编码器探头由刻蚀在一个绝缘衬底上具有一定图形结构的多个磁电阻元件构成,磁电阻元件间隔排列并相互形成桥式电路。上述磁电阻元件是用具有巨磁电阻效应的磁性自旋阀多层薄膜材料经微电子工艺加工而成。磁电阻元件具有反铁磁层/铁磁层/非磁层/铁磁层结构。(*该技术在2008年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种磁旋转编码器,特别涉及一种用来检测旋转物体的绝对旋转位置,具有高的分辩率和灵敏度的磁旋转编码器。利用电阻值随外加磁场的变化而产生变化,磁电阻效应元件可作为磁传感器使用;以这种磁电阻元件为磁传感探头的磁旋转编码器主要用于控制转速、角度和位置等物理量,这种磁旋转编码器结构简单,抗恶劣环境,响应频率频率宽,易于实现绝对位置输出,还具有按装方便、成本便宜、低功耗和使用寿命长等特点,因此近年来磁性编码器在高精度测量和控制领域得到广泛的应用,特别是在数控机床、机器人、测量仪和驱动电机等方面的应用显得尤为重要。但目前几乎所有的磁旋转编码器的磁探头中所采用的磁电阻效应元件,均使用的是NiFe(Co)等各向异性磁电阻薄膜材料,磁电阻变化率ΔR/R小,只有1-3%,造成探头的读出信号弱,灵敏度低,同时,各项异性磁电阻元件本身所固有的巴克豪森噪音,导致其输出信号的信噪比较低;上述缺点也限制了磁鼓上面记录磁极信号密度的提高,降低了整个编码器的分辩率。有鉴于此,如何使编码器的分辩率提高,使得其应用的领域得以进一步的扩大,并且结构简单,在编码器成本并不会增加许多的情况下,就可带来更大的应用范本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有高灵敏探头的高分辩磁性旋转编码器,由磁鼓和探头构成,其特征在于编码器探头由刻蚀在一个绝缘衬底上具有一定图形结构的多个磁电阻元件构成,磁电阻元件间隔排列并相互形成桥式电路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赵宏武
申请(专利权)人:赵宏武
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]

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