精准量测自动测试设备内部杂散电容的电路、系统与方法技术方案

本发明专利技术是有关于一种精准量测自动测试设备内部杂散电容的电路、系统与方法。该方法具有复数个步骤，其包含：首先，由一电压驱动单元对一内部电路进行数次充放电；接着，使该内部电路自行放电，电压值由Ｖ１递减至Ｖ２；然后，测得放电时间间隔；再来，将时间间隔代入放电数学式，得到一第一Ｒ－Ｃ放电方程式；接着，将自动测试设备与一辅助测试模组耦合；然后，重复上述的放电步骤以得到一第二Ｒ－Ｃ放电方程式；以及联立该第一、第二Ｒ－Ｃ放电方程式以求得杂散电阻及电容。本发明专利技术可有效解决以往进行自动测试设备内部杂散电容的量测或估计杂散电阻的方法存在的诸多操作不便及量测不准确缺点，能迅速、有效且正确的以简易又节省成本的方式求得寄存于自动测试设备中的杂散电容，非常适于实用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种量测杂散电容的电路、系统与方法，特别是涉及一种能 精准量测自动测试设备内部的杂散电容的电路、系统与方法。
技术介绍
自动测试设备(automatic test equipment,简称ATE)，是用于测试晶圆 和集成电路晶片，所测得的各项数据结果即为用来判定该晶圓或集成电路 品质的良劣，因此，测试设备本身应当具有可对各项量测性能的准确性与 一致性。也就是说，由自动测试设备所测试出来的结果不能受到时间与外 在环境的影响而有所不同。因此，同一型号的不同设备在对于同一晶圓或 集成电路晶片所进行的测试结果应该为相同的数据结果。如此一来，才能 确认待测元件的受测结果具有正确性的保证。一般而言，自动测试设备是由复杂的电子电路所组成的机台，因此自动 测试设备会随着使用的时间增加而在其内部产生各种寄生电阻、电感及电 容，这些寄生电阻、电感及电容即为所谓的杂散电阻、电感及电容。而这些 各种杂散电阻、电感及电容存在于该自动测试设备中时，则会对该自动测 试设备在测试时所量测出来的结果的正确性产生许多不良的影响，其中以 杂散电容存在于自动测试设备中所造成的影响为最大。请参阅图1所示，为使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种精准量测自动测试设备内部杂散电容的系统，其特征在于其包含：　一自动测试设备，用以提供待测的杂散电容；以及　一辅助测试模组，可与该自动测试设备耦合以求得该自动测试设备内部的杂散电容。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：倪建青，
申请(专利权)人：京元电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]