一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置，包括基板、SNAP结构回音壁微腔、耦合波导、探头、回弹装置和盖板，基板的表面开有相互垂直且轴线不相交的横向微沟槽和竖向微沟槽，耦合波导套设于横向微沟槽，SNAP结构回音壁微腔可滑动套设于竖向微沟槽内；SNAP结构回音壁微腔与耦合波导接触。本发明专利技术将SNAP结构回音壁微腔和耦合波导构成的耦合装置封装成为一个整体器件；在测量过程中，SNAP结构回音壁微腔沿其竖向微沟槽的轴向移动，不会在使用过程中造成谐振谱特性的偏差。SNAP结构回音壁微腔的不同位置耦合产生不同的谐振谱，经过对SNAP结构回音壁微腔谐振谱特性的分析可以实现抗干扰性好、重复使用率高和准确可靠的传感测量。

【技术实现步骤摘要】
一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置
本专利技术属于光学传感领域，尤其是指一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置。
技术介绍
高精度测量技术在工业生产中已经不可或缺，尤其是在航空航天、纳米光刻、超精密加工等高科技领域，测量误差和有限的测量手段严重制约相关领域的发展。SNAP结构回音壁微腔作为一种高性能光学谐振器，因其极高的光学性能和规律的谐振谱而获得广泛的关注和应用，在位移测量、力测量、电磁传感、生物大分子传感等众多领域表现巨大的应用前景。近年来，基于回音壁微腔的传感理论得到了国内外众多学者的争相研究，根据是否用谐振模式的倏逝场进行传感可分为两大类：一是被探测量与倏逝场发生相互作用的倏逝场传感器，例如折射率传感、生物大分子传感等；二是被探测量不与倏逝场直接发生相互作用的非倏逝场传感器，例如力传感、位移传感等，其中非倏逝场传感通常基于微腔的尺寸改变、耦合状态的改变和微腔折射率的改变而达到传感的目的。SNAP结构回音壁微腔因其独特的结构，在轴向具有大范围的模式场分布，轴向不同耦合位置的谐振谱具有规律性的变化，非常适用于微位移、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置，其特征在于，包括基板、SNAP结构回音壁微腔、耦合波导、探头、回弹装置和盖板，所述基板的表面开有相互垂直且轴线不相交的横向微沟槽和竖向微沟槽，所述耦合波导套设于横向微沟槽，SNAP结构回音壁微腔可滑动套设于竖向微沟槽内；所述探头的一端与基板固定连接，所述探头的一端内开有凹槽，且探头的另一端开有与凹槽连通的通孔；所述回弹装置设于凹槽内，SNAP结构回音壁微腔与耦合波导接触，且SNAP结构回音壁微腔穿过通孔；回弹装置与SNAP结构回音壁微腔连接而将SNAP结构回音壁微腔的一端拉向通孔；所述盖板盖合横向微沟槽和竖向微沟槽而将耦合波导和SNAP结构回音...

【技术特征摘要】
1.一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置，其特征在于，包括基板、SNAP结构回音壁微腔、耦合波导、探头、回弹装置和盖板，所述基板的表面开有相互垂直且轴线不相交的横向微沟槽和竖向微沟槽，所述耦合波导套设于横向微沟槽，SNAP结构回音壁微腔可滑动套设于竖向微沟槽内；所述探头的一端与基板固定连接，所述探头的一端内开有凹槽，且探头的另一端开有与凹槽连通的通孔；所述回弹装置设于凹槽内，SNAP结构回音壁微腔与耦合波导接触，且SNAP结构回音壁微腔穿过通孔；回弹装置与SNAP结构回音壁微腔连接而将SNAP结构回音壁微腔的一端拉向通孔；所述盖板盖合横向微沟槽和竖向微沟槽而将耦合波导和SNAP结构回音壁微腔封装在横向微沟槽和竖向微沟槽内。


2.根据权利要求1所述的一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置，其特征在于，所述基板和耦合波导上均开有卡槽，所述卡槽内设有卡块而将耦合波导固定在基板上；所述卡块的表面与基板的表面共面。


3.根据权利要求1所述的一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置，其特征在于，所述竖向微沟槽内设有用...

【专利技术属性】
技术研发人员：董永超，陈剑，赵泽政，孙鹏辉，王晗，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东;44