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一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置制造方法及图纸
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下载一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置的技术资料
文档序号:26476415
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本发明公开了一种基于SNAP结构回音壁微腔探针式测量装置,包括基板、SNAP结构回音壁微腔、耦合波导、探头、回弹装置和盖板,基板的表面开有相互垂直且轴线不相交的横向微沟槽和竖向微沟槽,耦合波导套设于横向微沟槽,SNAP结构回音壁微腔可滑动套...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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