【技术实现步骤摘要】
一种超疏油有机涂层及其制备方法
本专利技术实施例涉及有机涂层领域
，尤其涉及一种超疏油有机涂层及其制备方法。
技术介绍
在硅片制造领域中，为了对工件进行加工以及冷却，会在多线切割工艺和双面研磨工艺中使用大量的砂浆。这种砂浆是由如碳化硅、三氧化二铝、二氧化硅等颗粒和油性或水性聚合物以及分散剂组成的，并且在工艺实施过程中循环使用。但是砂浆在循环使用的过程中会有一部分残留在工艺设备的表面，而这类工艺设备的表面一般为金属、有机物或玻璃等高表面能的材料，导致砂浆一旦残留在表面就会很难除去。目前，为了去除工艺设备在工艺实施过程中残留于表面的砂浆，通常会利用辅助溶剂进行清洁，但是清洁之后的辅助溶剂会进入循环使用的砂浆中，导致砂浆浓度降低，而为了保证工件的质量，就需要在工艺实施过程中不断地加入新的砂浆以保证砂浆浓度，如此，降低了砂浆的使用效率，造成了砂浆的浪费，增加了工艺成本。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例期望提供一种超疏油有机涂层及其制备方法；能够减少砂浆对工艺设备表面的污染，降低砂浆的浪费，...
【技术保护点】
1.一种超疏油有机涂层，其特征在于，所述超疏油有机涂层原料包括以下质量份组分：/n二氧化硅纳米粒子3份、碳化硅纳米粒子1份、有机溶液10份、聚二甲基硅氧烷1份、固化剂10份以及质量占比为98％乙醇溶液120份至240份；其中，所述二氧化硅纳米粒子的粒径小于所述碳化硅纳米粒子的粒径。/n
【技术特征摘要】
1.一种超疏油有机涂层，其特征在于，所述超疏油有机涂层原料包括以下质量份组分：
二氧化硅纳米粒子3份、碳化硅纳米粒子1份、有机溶液10份、聚二甲基硅氧烷1份、固化剂10份以及质量占比为98％乙醇溶液120份至240份；其中，所述二氧化硅纳米粒子的粒径小于所述碳化硅纳米粒子的粒径。
2.根据权利要求1所述的超疏油有机涂层，其特征在于，所述有机溶液包括质量占比为98％的乙醇溶液或质量占比为99％的甲苯溶液。
3.根据权利要求1所述的超疏油有机涂层，其特征在于，所述二氧化硅纳米粒子的粒径为25nm。
4.根据权利要求1所述的超疏油有机涂层，其特征在于，碳化硅的的纳米粒子的粒径为100nm至500nm。
5.一种超疏油有机涂层的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
按照质量份配比将3份二氧化硅纳米粒子和1份碳化硅纳米粒子分散于10份有机溶液中，获得第一悬浮液；其中，所述二氧化硅纳米粒子的粒径小于所述碳化硅纳米粒子的粒径；
通过磁力搅拌装置以...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭宇轩，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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