一种具有除尘效果的半导体芯片输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有除尘效果的半导体芯片输送装置，涉及到半导体技术领域。包括箱体，所述箱体的侧面开设有入料口，所述入料口在箱体内壁开口的下方位置设置有传送带，所述传送带的内部设置有集尘仓，所述集尘仓固接在支撑横梁上，所述支撑横梁远离集尘仓的另一端固定在箱体的内壁上，所述传送带的首端内侧设置有驱动轴，且驱动轴的尾端设置有第一电机，在装置的使用过程中配合气泵使用，从而在传送带下方形成负压，进而在达到除尘效果的同时，可以对上方的物料进行一定的吸附，减少物料在输送过程中发生的震动偏移，解决了传统半导体芯片在除尘时，由于芯片质量过轻容易偏移的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种具有除尘效果的半导体芯片输送装置
本技术涉及半导体
，具体来说，涉及一种具有除尘效果的半导体芯片输送装置。
技术介绍
随着科学技术的发展，现在半导体芯片已经成为了主流，在生产半导体芯片时，工艺环节众多，因此在半导体芯片加工过程中负责将芯片运输到下一个加工环节的传送装置尤为重要。根据专利CN201920218983.4，一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括底座，所述底座上侧侧壁设有两个对称设置的安装板，两个所述安装板的上端设有加工装置，所述底座的上侧侧壁设有输送装置，且安装板上设有出料口，所述底座的一侧设有收集装置，且收集装置靠近出料口设置，所述出料口上设有出料板，该半导体芯片生产设备的机械手传送装置直接在底座的上侧侧壁设有输送装置，直接对半导体芯片，没有设置除尘装置，从而导致输送的芯片表面有大量灰尘颗粒，进而影响产品质量，且该装置采用输送履带对芯片进行传送，而半导体芯片质量都非常轻，因此在传送的过程中容易产生偏移。针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
r>针对相关技术中的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有除尘效果的半导体芯片输送装置，包括：箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)的侧面开设有入料口(3)，所述入料口(3)在箱体(1)内壁开口的下方位置设置有传送带(4)，所述传送带(4)的内部设置有集尘仓(9)，所述集尘仓(9)固接在支撑横梁(8)上，所述支撑横梁(8)远离集尘仓(9)的另一端固定在箱体(1)的内壁上，所述传送带(4)的首端内侧设置有驱动轴(5)，且驱动轴(5)的尾端设置有第一电机(2)，所述第一电机(2)的另一端固定在箱体(1)的内壁上，所述传送带(4)的尾端内侧设置有传动轴(10)，所述传动轴(10)的另一端转动连接在固定柱(11)上，所述固定柱(11)的另一端固定...

【技术特征摘要】
1.一种具有除尘效果的半导体芯片输送装置，包括：箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)的侧面开设有入料口(3)，所述入料口(3)在箱体(1)内壁开口的下方位置设置有传送带(4)，所述传送带(4)的内部设置有集尘仓(9)，所述集尘仓(9)固接在支撑横梁(8)上，所述支撑横梁(8)远离集尘仓(9)的另一端固定在箱体(1)的内壁上，所述传送带(4)的首端内侧设置有驱动轴(5)，且驱动轴(5)的尾端设置有第一电机(2)，所述第一电机(2)的另一端固定在箱体(1)的内壁上，所述传送带(4)的尾端内侧设置有传动轴(10)，所述传动轴(10)的另一端转动连接在固定柱(11)上，所述固定柱(11)的另一端固定在箱体(1)的内壁上，所述集尘仓(9)的下方连接有抽气管(7)，并且抽气管(7)的后端连接有气泵(6)。


2.根据权利要求1所述的一种具有除尘效果的半导体芯片输送装置，其特征在于，所述箱体(1)的底部内壁上固定有支架(21)，所述支架(21)的顶端固定有底座(25)，所述底座(25)的右端设置有第二电机(20)，所述第二电机(20)的输出端与底座(25)内的螺杆(18)传动连接，所述螺杆(18)横向设置在底座(25)内，所述螺杆(18)的外壁套设有移动块(22)，所述移动块(22)的底端伸入底座(25)内的底壁，所述底座(25)内的底壁上设有与...

【专利技术属性】
技术研发人员：周旭，
申请(专利权)人：江苏盛斗士网络技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32