一种硅片清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片技术领域，且公开了一种硅片清洗装置，包括箱体，所述箱体的底部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有一端延伸到箱体内部的旋转轴，所述旋转轴的外部套接有定位块。该硅片清洗装置，通过设置动力气泵、发热棒和进气管，将动力水泵上的抽水管连通清洗水源，在硅片花篮中插入硅片，关闭箱盖，开启动力水泵，喷水管喷水清洗硅片，清洗完成后打开箱体上的有排水管，开启驱动电机，驱动电机带动硅片花篮旋转甩干水分，开启动力气泵和发热棒，发热棒加热盒体内空气，动力气泵抽取热气送入箱体内加速硅片干燥，如此，设备冲洗干燥一体完成，不需要更换设备，效率高且方便。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗装置
本技术涉及硅片
，具体为一种硅片清洗装置。
技术介绍
半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。传统的硅片清洗设备，硅片放置在花篮中清洗然后干燥，但是清洗后需要人工拿取到烘干装置内，使用起来颇为麻烦，且影响效率，使用者对此颇为烦恼，故而提出一种硅片清洗装置。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片清洗装置，具备清洗干燥一体完成，效率高，使用方便等优点，解决了传统的硅片清洗设备使用起来颇为麻烦，且影响效率的问题。(二)技术方案为实现上述清洗干燥一体完成，效率高，使用方便的目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片清洗装置，包括箱体，所述箱体的底部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有一端延伸到箱体内部的旋转轴，所述旋转轴的外部套接有定位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的底部固定安装有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出端固定安装有一端延伸到箱体(1)内部的旋转轴(3)，所述旋转轴(3)的外部套接有定位块(4)，所述定位块(4)的顶部固定安装有硅片花篮(5)，所述箱体(1)的顶部活动安装有箱盖(6)，所述箱体(1)的左侧固定安装有动力水泵(7)，所述动力水泵(7)的出水口连通有延伸管(8)，所述延伸管(8)的右侧连通有一端与箱盖(6)固定连接的横管(9)，所述横管(9)的底部连通有数量为五个且一端贯穿并延伸到箱盖(6)下方的喷水管(10)，所述箱体(1)的右侧固定安装有动力气泵(11)，所述...

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的底部固定安装有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出端固定安装有一端延伸到箱体(1)内部的旋转轴(3)，所述旋转轴(3)的外部套接有定位块(4)，所述定位块(4)的顶部固定安装有硅片花篮(5)，所述箱体(1)的顶部活动安装有箱盖(6)，所述箱体(1)的左侧固定安装有动力水泵(7)，所述动力水泵(7)的出水口连通有延伸管(8)，所述延伸管(8)的右侧连通有一端与箱盖(6)固定连接的横管(9)，所述横管(9)的底部连通有数量为五个且一端贯穿并延伸到箱盖(6)下方的喷水管(10)，所述箱体(1)的右侧固定安装有动力气泵(11)，所述动力气泵(11)的出气口连通有一端与箱体(1)相连通的送气管(12)，所述箱体(1)的右侧且位于动力气泵(11)的下方固定安装有盒体(13)，所述动力气泵(11)的进气口连通有一端与盒体(13)相连通的抽吸管(14)，所述盒体(13)的内壁左侧固定安装有数量为四个的发热棒(15)，所述盒体(13)的底部连通有进气管(16)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：江水德，
申请(专利权)人：衢州三盛电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33