温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及硅片技术领域，且公开了一种硅片清洗装置，包括箱体，所述箱体的底部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有一端延伸到箱体内部的旋转轴，所述旋转轴的外部套接有定位块。该硅片清洗装置，通过设置动力气泵、发热棒和进气管，将动...
该专利属于衢州三盛电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过衢州三盛电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。