激光芯片测试平台制造技术

技术编号:26430651 阅读:22 留言:0更新日期:2020-11-20 14:31
本实用新型专利技术涉及测试设备技术领域,特别涉及激光芯片测试平台,测试收光装置、XY轴芯片载料台、可调节探针台、图像采集装置均通过螺栓紧固于测试设备上,并且均连接于测试设备的控制系统,测试收光装置包括光功率探测器,光功率探测器连接于测试设备的光功率测试系统,用于测试激光芯片的光功率,测试收光装置包括耦合透镜和多模光纤,多模光纤的一端连接于耦合透镜,另一端连接于光谱分析仪,用于激光芯片的光谱测试。与现有技术相比,本实用新型专利技术的激光芯片测试平台采用耦合透镜将激光芯片与多模光纤进行耦合,结构设计保证精度,无需进行精密的光学对位,降低成本的同时极大的缩短了测试时间,提供测试效率。

【技术实现步骤摘要】
激光芯片测试平台
本技术涉及测试设备
,特别涉及激光芯片测试平台。
技术介绍
目前市场上的激光芯片测试平台基本采用亚微米级的精密位移台和积分球进行收光,此方案价格高昂,且位移台的光学耦合时间长,导致生产效率低下,无法满足大规模高效生产的需求。
技术实现思路
为了克服上述问题,本技术提出一种可有效解决上述问题的激光芯片测试平台。本技术解决上述技术问题提供的一种技术方案是:提供一种激光芯片测试平台,用于测试设备内对激光芯片进行光功率和光谱测试,包括测试收光装置,用于接收激光芯片所发出的激光;所述测试收光装置一侧设置有XY轴芯片载料台,用于承载放置激光芯片,并为激光芯片提供测试所需的温度条件;所述XY轴芯片载料台侧面设置有可调节探针台,可调节探针台与XY轴芯片载料台电连接,用于给激光芯片加电发出激光;所述测试收光装置的另一侧面还设置有图像采集装置,用于采集激光芯片的位置信息;所述测试收光装置、XY轴芯片载料台、可调节探针台、图像采集装置均通过螺栓紧固于测试设备上,并且均连接于测试设备的控制系统;所述测试收光装置包括光功率探测器,所述光功率探测器连接于测试设备的光功率测试系统,用于测试激光芯片的光功率;所述测试收光装置包括耦合透镜和多模光纤,所述多模光纤的一端连接于耦合透镜,另一端连接于光谱分析仪,用于激光芯片的光谱测试。优选地,所述可调节探针台包括探针,可调节探针台电连接于测试设备的供电系统,探针电连接于XY轴芯片载料台上的激光芯片电极。优选地,所述测试收光装置还包括一基板,所述基板上设置有切换滑轨,所述切换滑轨上滑动连接有切换滑动座,所述切换滑动座可沿切换滑轨滑动。优选地,所述光功率探测器、耦合透镜和多模光纤均固定于切换滑动座上。优选地,所述基板一侧还设置有切换气缸,所述切换气缸与切换滑动座连接。优选地,所述光功率探测器包括一支撑座,所述支撑座固定于切换滑动座上。优选地,所述支撑座的上端开设有一圆形口,所述圆形口内固定有PD锁紧环,所述PD锁紧环上固定有PD探测器,所述PD探测器连接于测试设备的光功率测试系统。优选地,所述PD探测器的一侧设置有PD前盖,另一侧设置有PD后盖,所述PD前盖与PD后盖通过螺纹连接固定,PD探测器固定于PD前盖与PD后盖之间。优选地,所述XY轴芯片载料台包括第一直线模组和第二直线模组,所述第二直线模组垂直滑动连接于第一直线模组上,第一直线模组驱动第二直线模组移动,所述第二直线模组上滑动连接有控温治具。优选地,所述控温治具包括一治具主体,所述治具主体的上方两侧设置有两相向的斜面,两相向的斜面之间形成条形放置区,所述激光芯片放置于条形放置区上。与现有技术相比,本技术的激光芯片测试平台采用耦合透镜将激光芯片与多模光纤进行耦合,结构设计保证精度,无需进行精密的光学对位,降低成本的同时极大的缩短了测试时间,提供测试效率;采用大受光面的PD探测器代替积分球,可以满足光功率测试要求,同时成本低且结构更加简洁;图像采集装置可精确定位激光芯片,并自动读取激光芯片字符;通过半导体制冷片,使多个激光芯片快速达测试所需的温度设定值,且具有极高的温度一致性。【附图说明】图1为本技术激光芯片测试平台的整体结构图;图2为本技术激光芯片测试平台的测试收光装置结构图;图3为本技术激光芯片测试平台的光功率探测器结构图;图4为本技术激光芯片测试平台的XY轴芯片载料台结构图;图5为本技术激光芯片测试平台的控温治具结构图。【具体实施方式】为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施实例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用于解释本技术,并不用于限定本技术。需要说明,本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅限于指定视图上的相对位置,而非绝对位置。另外,在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。请参阅图1至图5,本技术的激光芯片测试平台,用于测试设备内对激光芯片50进行光功率和光谱测试,包括测试收光装置10,用于接收激光芯片50所发出的激光。所述测试收光装置10一侧设置有XY轴芯片载料台20,XY轴芯片载料台20用于承载放置激光芯片50,并为激光芯片50提供测试所需的温度条件。所述XY轴芯片载料台20侧面设置有可调节探针台30,可调节探针台30与XY轴芯片载料台20电连接,用于给激光芯片50加电发出激光。所述测试收光装置10的另一侧面还设置有图像采集装置40,用于采集激光芯片50的位置信息。所述测试收光装置10、XY轴芯片载料台20、可调节探针台30、图像采集装置40均通过螺栓紧固于测试设备上,并且均连接于测试设备的控制系统。所述可调节探针台30包括探针31,可调节探针台30电连接于测试设备的供电系统,探针31电连接于XY轴芯片载料台20上的激光芯片50电极,用于给激光芯片50供电。所述图像采集装置40包括摄像头41,摄像头41采集激光芯片50位置后将位置信息传输至控制系统,控制系统控制可调节探针台30的探针31与激光芯片50的电极接触。所述测试收光装置10包括光功率探测器11,所述光功率探测器11连接于测试设备的光功率测试系统,用于测试激光芯片50的光功率。所述测试收光装置10包括耦合透镜12和多模光纤13,所述多模光纤13的一端连接于耦合透镜12,另一端连接于光谱分析仪,用于激光芯片50的光谱测试。所述测试收光装置10还包括一基板151,所述基板151上设置有切换滑轨152,所述切换滑轨152上滑动连接有切换滑动座153,所述切换滑动座153可沿切换滑轨152滑动。所述光功率探测器11、耦合透镜12和多模光纤13均固定于切换滑动座153上,通过切换滑动座153的滑动来切换光功率测试和光谱测试,当光功率探测器11对准激光芯片50收光时进行光功率测试,当耦合透镜12对准激光芯片50收光时进行光谱测试。所述基板151一侧还设置有切换气缸15,所述切换气缸15与切换滑动座153连接,用于驱动切换滑动座153滑动。所述测试收光装置10还包括一调节台14,所述调节台14固定于切换滑动座153上,所述耦合透镜12和多模光纤13固定于调节台14上,调节台14可对耦合透镜12位置进行微调。所述光功率探测器11包括一支撑座111,所述支撑座111固定于切换滑动座153上。所述支撑座111的上端开设有一圆形口1111,所述圆形口1111内固定有PD锁紧环115,所述PD锁紧环115上固定有PD探测器114,所述PD探测器114连接于测试设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.激光芯片测试平台,用于测试设备内对激光芯片进行光功率和光谱测试,其特征在于,包括测试收光装置,用于接收激光芯片所发出的激光;所述测试收光装置一侧设置有XY轴芯片载料台,用于承载放置激光芯片,并为激光芯片提供测试所需的温度条件;所述XY轴芯片载料台侧面设置有可调节探针台,可调节探针台与XY轴芯片载料台电连接,用于给激光芯片加电发出激光;所述测试收光装置的另一侧面还设置有图像采集装置,用于采集激光芯片的位置信息;所述测试收光装置、XY轴芯片载料台、可调节探针台、图像采集装置均通过螺栓紧固于测试设备上,并且均连接于测试设备的控制系统;/n所述测试收光装置包括光功率探测器,所述光功率探测器连接于测试设备的光功率测试系统,用于测试激光芯片的光功率;/n所述测试收光装置包括耦合透镜和多模光纤,所述多模光纤的一端连接于耦合透镜,另一端连接于光谱分析仪,用于激光芯片的光谱测试。/n

【技术特征摘要】
1.激光芯片测试平台,用于测试设备内对激光芯片进行光功率和光谱测试,其特征在于,包括测试收光装置,用于接收激光芯片所发出的激光;所述测试收光装置一侧设置有XY轴芯片载料台,用于承载放置激光芯片,并为激光芯片提供测试所需的温度条件;所述XY轴芯片载料台侧面设置有可调节探针台,可调节探针台与XY轴芯片载料台电连接,用于给激光芯片加电发出激光;所述测试收光装置的另一侧面还设置有图像采集装置,用于采集激光芯片的位置信息;所述测试收光装置、XY轴芯片载料台、可调节探针台、图像采集装置均通过螺栓紧固于测试设备上,并且均连接于测试设备的控制系统;
所述测试收光装置包括光功率探测器,所述光功率探测器连接于测试设备的光功率测试系统,用于测试激光芯片的光功率;
所述测试收光装置包括耦合透镜和多模光纤,所述多模光纤的一端连接于耦合透镜,另一端连接于光谱分析仪,用于激光芯片的光谱测试。


2.如权利要求1所述的激光芯片测试平台,其特征在于,所述可调节探针台包括探针,可调节探针台电连接于测试设备的供电系统,探针电连接于XY轴芯片载料台上的激光芯片电极。


3.如权利要求1所述的激光芯片测试平台,其特征在于,所述测试收光装置还包括一基板,所述基板上设置有切换滑轨,所述切换滑轨上滑动连接有切换滑动座,所述切换滑动座可沿切换滑轨滑动。


4.如权利要求3所述的激光芯片测试平台...

【专利技术属性】
技术研发人员:李伟罗骏
申请(专利权)人:镭神技术深圳有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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