一种纳米多层涂层及其制备方法和表面涂覆纳米多层涂层的刀具技术

本发明专利技术提供了一种纳米多层涂层及其制备方法和表面涂覆纳米多层涂层的刀具，属于保护性涂层技术领域。本发明专利技术提供的纳米多层涂层，包括依次交替层叠设置在基体表面的(AlCrTiZrMo)N纳米层和Cr

【技术实现步骤摘要】
一种纳米多层涂层及其制备方法和表面涂覆纳米多层涂层的刀具
本专利技术涉及保护性涂层
，具体涉及一种纳米多层涂层及其制备方法和表面涂覆纳米多层涂层的刀具。
技术介绍
随着制造业的飞速发展，对材料的表面性能提出了越来越高的要求，不仅要求其具有较高的硬度、耐磨和耐腐蚀性能，更要求其在一些苛刻服役条件如高温下性能良好。在材料表面涂覆一层保护性硬质涂层是提高材料表面性能的一种经济实用的有效途径，保护性涂层作为表面涂层领域的一个重要分支，在机械制造、汽车工业、地质钻探、模具工业等领域中应用广泛，特别是在金属切削中占有主导地位。随着高速切削、干式切削等先进切削技术的不断发展，对刀具涂层的硬度、耐磨性、热稳定性等性能也提出了更高的要求，传统的刀具涂层，如TiN、CrN、TiAlN和CrAlN等涂层已逐渐不能满足要求。纳米多层涂层是指由两种或两种以上成分或结构不同的材料在垂直于涂层表面方向上相互交替生长而形成的二维多层材料，对于两种不同结构或组成的多层涂层，每相邻两层形成一个基本单元，其厚度称为调制周期，通常将调制周期小于100nm的多层涂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纳米多层涂层，其特征在于，包括依次交替层叠设置在基体表面的(AlCrTiZrMo)N纳米层和Cr

【技术特征摘要】
1.一种纳米多层涂层，其特征在于，包括依次交替层叠设置在基体表面的(AlCrTiZrMo)N纳米层和Cr2O3纳米层，与所述基体表面接触的为(AlCrTiZrMo)N纳米层，所述纳米多层涂层的外层为Cr2O3纳米层。


2.根据权利要求1所述的纳米多层涂层，其特征在于，每层(AlCrTiZrMo)N纳米层的厚度独立地为4.0～6.0nm。


3.根据权利要求1所述的纳米多层涂层，其特征在于，每层Cr2O3纳米层的厚度独立地为0.4～1.2nm。


4.根据权利要求1～3任一项所述的纳米多层涂层，其特征在于，所述纳米多层涂层的厚度为2.0～3.5μm。


5.权利要求1～4任一项所述纳米多层涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
在氮气和惰性气体中，交替使用AlCrTiZrMo高熵合金靶和Cr2O3靶，在基体表面交替循环磁控溅射沉积(AlCrTiZrMo)N纳米层和C...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟漪，陆红妹，何佳，王诗凯，李伟，陈立强，
申请(专利权)人：上海工具厂有限公司，上海理工大学，
类型：发明
国别省市：上海;31