一种光刻机上光刻胶的供料筒结构制造技术

本发明专利技术公开了一种光刻机上光刻胶的供料筒结构，包括托盘，托盘上安置有盛胶筒，托盘相对的两侧成型有支耳，支耳上固定有竖直的连接柱，连接柱的上端面上成型有竖直的螺柱，托盘的上端面上成型有环形的保护罩，盛胶筒插接在保护罩内；所述盛胶筒的上端插接有密封盖，密封盖的上端面成型有锁扣板，锁扣板的两端伸出盛胶筒插套在螺柱上，螺柱上螺接有螺母，螺母压靠在锁扣板上；所述的密封盖上插接固定有输送管，输送管下端插设在盛胶筒的底部。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机上光刻胶的供料筒结构
本专利技术涉及光刻机的
，更具体地说涉及一种光刻机上光刻胶的供料筒结构。
技术介绍
随着国家经济和科技的发展，液晶显示器越来越得到广泛的应用。其中，在液晶显示器的生产过程中，通常需要使用光刻胶来完成制造，例如阵列基板的生产等。具体地，光刻胶由感光树脂等组成，通过光线照射，显影、曝光等操作后，能够在阵列基板上形成特定图案，从而便于阵列基板的生产。现有技术中，通常使用的光刻胶由胶筒提供，现有胶筒的供料方式为，胶筒的顶部设置有密封盖，密封盖上插接固定有进气管和输送管，进气管的末端插设在胶筒的上端，输送管的下端插接在胶筒的下端，通过进气管向胶筒内进气，利用气压将光刻胶压入输送管内，输送管进行供料；但在供料时，通过进气管输送的压缩空气需要具有足够的压力(通常大于10000pa)，其容易导致胶筒内气压过高，导致胶筒变形，胶筒变形后发现泄漏问题，影响输送管的供料。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种光刻机上光刻胶的供料筒结构，其增设保护罩和可以避免高压的泄压结构来保护盛胶筒，避免盛胶筒的变形或损坏。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种光刻机上光刻胶的供料筒结构，包括托盘，托盘上安置有盛胶筒，托盘相对的两侧成型有支耳，支耳上固定有竖直的连接柱，连接柱的上端面上成型有竖直的螺柱，托盘的上端面上成型有环形的保护罩，盛胶筒插接在保护罩内；所述盛胶筒的上端插接有密封盖，密封盖的上端面成型有锁扣板，锁扣板的两端伸出盛胶筒插套在螺柱上，螺柱上螺接有螺母，螺母压靠在锁扣板上；所述的密封盖上插接固定有输送管，输送管下端插设在盛胶筒的底部；所述密封盖的上端面上成型有凸台，凸台内成型有腔室，密封盖的下端面上成型有腔室相连通的进气槽，凸台的上端面上成型有与腔室相连通的泄压孔，所述凸台的上端面成型有与泄压孔相连通的泄压阀座，泄压阀座内插接有阀芯和压簧，压簧的两端分别压靠在阀芯和调节螺栓上，阀芯压靠在凸台上，调节螺栓螺接在泄压阀座上；所述的泄压阀座上插接固定有泄压管；所述的凸台上成型有与腔室相连通的进气接管。优选的，所述托盘的保护罩内壁上粘贴固定有橡胶皮垫。优选的，所述密封盖的外壁上成型有环形的密封槽，密封盖的密封槽内插接有密封圈，密封圈压靠在盛胶筒的内部上，所述的锁扣板抵靠在盛胶筒的上端面上。优选的，所述阀芯的外壁上粘贴固定有橡胶密封套，橡胶密封套压靠在凸台的上端面和泄压阀座的内壁上。优选的，所述凸台腔室的上、下底面上分别成型有隔板，隔板分隔凸台的腔室呈S型通道，所述的泄压孔和进气槽分布在S型通道的两端。优选的，所述进气接管的进口和泄压孔分布在隔板的两侧，进气接管的进口正对腔室的下底面上。优选的，所述盛胶筒的长度大于保护罩的长度。本专利技术的有益效果在于：其增设保护罩和可以避免高压的泄压结构来保护盛胶筒，避免盛胶筒的变形或损坏。附图说明图1为本专利技术立体的结构示意图；图2为本专利技术正视的结构示意图；图3为图2中A—A处的剖视结构示意图图4为图3中B处的局部放大示意图。图中：1、托盘；11、保护罩；12、支耳；2、连接柱；21、螺柱；3、密封盖；31、锁扣板；32、凸台；321、腔室；322、进气槽；323、泄压孔；324、隔板；325、S型通道；33、泄压阀座；34、进气接管；4、螺母；5、输送管；6、盛胶筒；7、阀芯；8、压簧；9、调节螺栓；10、泄压管；20、橡胶密封套；30、密封圈；40、橡胶皮垫。具体实施方式实施例：见图1至4所示，一种光刻机上光刻胶的供料筒结构，包括托盘1，托盘1上安置有盛胶筒6，托盘1相对的两侧成型有支耳12，支耳12上固定有竖直的连接柱2，连接柱2的上端面上成型有竖直的螺柱21，托盘1的上端面上成型有环形的保护罩11，盛胶筒6插接在保护罩11内；所述盛胶筒6的上端插接有密封盖3，密封盖3的上端面成型有锁扣板31，锁扣板31的两端伸出盛胶筒6插套在螺柱21上，螺柱21上螺接有螺母4，螺母4压靠在锁扣板31上；所述的密封盖3上插接固定有输送管5，输送管5下端插设在盛胶筒6的底部；所述密封盖3的上端面上成型有凸台32，凸台32内成型有腔室321，密封盖3的下端面上成型有腔室321相连通的进气槽322，凸台32的上端面上成型有与腔室321相连通的泄压孔323，所述凸台32的上端面成型有与泄压孔323相连通的泄压阀座33，泄压阀座33内插接有阀芯7和压簧8，压簧8的两端分别压靠在阀芯7和调节螺栓9上，阀芯7压靠在凸台32上，调节螺栓9螺接在泄压阀座33上；所述的泄压阀座33上插接固定有泄压管10；所述的凸台32上成型有与腔室321相连通的进气接管34。所述托盘1的保护罩11内壁上粘贴固定有橡胶皮垫40。所述密封盖3的外壁上成型有环形的密封槽，密封盖3的密封槽内插接有密封圈30，密封圈30压靠在盛胶筒6的内部上，所述的锁扣板31抵靠在盛胶筒6的上端面上。所述阀芯7的外壁上粘贴固定有橡胶密封套20，橡胶密封套20压靠在凸台32的上端面和泄压阀座33的内壁上。所述凸台32腔室321的上、下底面上分别成型有隔板324，隔板324分隔凸台32的腔室321呈S型通道325，所述的泄压孔323和进气槽322分布在S型通道325的两端。所述进气接管34的进口和泄压孔323分布在隔板324的两侧，进气接管34的进口正对腔室321的下底面上。所述盛胶筒6的长度大于保护罩11的长度。工作原理：本专利技术为光刻机上光刻胶的供料筒结构，其供料筒结构的技术点有两点，一点是增设了保护罩11和橡胶密封套，用于保护加固盛胶筒6；另一点是增了泄压阀座33、阀芯7、压簧8、调节螺栓9和泄压管10组成的泄压结构，避免盛胶筒6内压力过高；同时通过调节调节螺栓9，能改变泄压压力的调节，配合输送管5内光刻胶输出的流速；还有在泄压结构内设计S型通道325，能避免光刻胶从泄压管10排出。所述实施例用以例示性说明本专利技术，而非用于限制本专利技术。任何本领域技术人员均可在不违背本专利技术的精神及范畴下，对所述实施例进行修改，因此本专利技术的权利保护范围，应如本专利技术的权利要求所列。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机上光刻胶的供料筒结构，包括托盘(1)，托盘(1)上安置有盛胶筒(6)，托盘(1)相对的两侧成型有支耳(12)，支耳(12)上固定有竖直的连接柱(2)，连接柱(2)的上端面上成型有竖直的螺柱(21)，其特征在于：托盘(1)的上端面上成型有环形的保护罩(11)，盛胶筒(6)插接在保护罩(11)内；所述盛胶筒(6)的上端插接有密封盖(3)，密封盖(3)的上端面成型有锁扣板(31)，锁扣板(31)的两端伸出盛胶筒(6)插套在螺柱(21)上，螺柱(21)上螺接有螺母(4)，螺母(4)压靠在锁扣板(31)上；所述的密封盖(3)上插接固定有输送管(5)，输送管(5)下端插设在盛胶筒(6)的底部；/n所述密封盖(3)的上端面上成型有凸台(32)，凸台(32)内成型有腔室(321)，密封盖(3)的下端面上成型有腔室(321)相连通的进气槽(322)，凸台(32)的上端面上成型有与腔室(321)相连通的泄压孔(323)，所述凸台(32)的上端面成型有与泄压孔(323)相连通的泄压阀座(33)，泄压阀座(33)内插接有阀芯(7)和压簧(8)，压簧(8)的两端分别压靠在阀芯(7)和调节螺栓(9)上，阀芯(7)压靠在凸台(32)上，调节螺栓(9)螺接在泄压阀座(33)上；所述的泄压阀座(33)上插接固定有泄压管(10)；所述的凸台(32)上成型有与腔室(321)相连通的进气接管(34)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种光刻机上光刻胶的供料筒结构，包括托盘(1)，托盘(1)上安置有盛胶筒(6)，托盘(1)相对的两侧成型有支耳(12)，支耳(12)上固定有竖直的连接柱(2)，连接柱(2)的上端面上成型有竖直的螺柱(21)，其特征在于：托盘(1)的上端面上成型有环形的保护罩(11)，盛胶筒(6)插接在保护罩(11)内；所述盛胶筒(6)的上端插接有密封盖(3)，密封盖(3)的上端面成型有锁扣板(31)，锁扣板(31)的两端伸出盛胶筒(6)插套在螺柱(21)上，螺柱(21)上螺接有螺母(4)，螺母(4)压靠在锁扣板(31)上；所述的密封盖(3)上插接固定有输送管(5)，输送管(5)下端插设在盛胶筒(6)的底部；
所述密封盖(3)的上端面上成型有凸台(32)，凸台(32)内成型有腔室(321)，密封盖(3)的下端面上成型有腔室(321)相连通的进气槽(322)，凸台(32)的上端面上成型有与腔室(321)相连通的泄压孔(323)，所述凸台(32)的上端面成型有与泄压孔(323)相连通的泄压阀座(33)，泄压阀座(33)内插接有阀芯(7)和压簧(8)，压簧(8)的两端分别压靠在阀芯(7)和调节螺栓(9)上，阀芯(7)压靠在凸台(32)上，调节螺栓(9)螺接在泄压阀座(33)上；所述的泄压阀座(33)上插接固定有泄压管(10)；所述的凸台(32)上成型有与腔室(321)相连通的进气接管(34)。


2.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐俊，
申请(专利权)人：杭州易正科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33