晶圆载具监控系统及其监控方法技术方案

一种晶圆载具监控系统包括监控模块，监控模块用以接收由传感器所感测到的晶圆盒的状态的感测数据，并记录在第一时间点与在第二时间点之间由传感器所感测到晶圆盒于状态下的监控信息，并将第一时间点及第二时间点之间的监控信息传送给外部装置；第一时间点是当晶圆传载装置开始改变晶圆盒的状态的时间点，及第二时间点是当晶圆传载装置停止对晶圆盒改变状态的时间点。本发明专利技术还提供一种晶圆传载装置的监控方法，可实时监控晶圆盒内的环境状态。

【技术实现步骤摘要】
晶圆载具监控系统及其监控方法
本专利技术为涉及本专利技术涉及晶圆载具传送的
，特别是一种晶圆载具监控系统及晶圆传载装置的监控方法。
技术介绍
随着科技的进步，各式电子产品的生产商发现影响成品良率的因素，除了相关工艺设计及控制外，半成品及成品在运载或是制作过程中，其所处的环境状态，对最终的成品良率也存在着直接或是间接的相关性。是以对于晶圆设备制造厂而言，从生产商取得影响成品良率的工艺参数，进而客制化生产商所需要的晶圆设备的技术已渐渐成为发展趋势。晶圆的半成品或成品在运载或是制作过程中易受环境状态影响的问题是晶圆设备制造厂及生产商所欲实时关注的，举凡晶圆所处环境的温湿度、水平高低、振动幅度等等。然而现有技术仍缺乏实时监控该等环境因素的监控系统，依然存在无法稳定控制成品良率的问题。
技术实现思路
为了解决先前技术的问题，本专利技术的主要目的在提供一种晶圆载具监控系统，藉由监控晶圆盒内的环境状态，以期提升成品良率。为达上述目的，本专利技术首先提供一种晶圆载具监控系统，与承载晶圆盒的晶圆传载装置连接，晶圆盒中容纳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆载具监控系统，与承载晶圆盒的晶圆传载装置连接，所述晶圆盒中容纳至少传感器，所述传感器用以持续感测所述晶圆盒的状态以得到感测数据，其特征在于，所述晶圆载具监控系统包括：/n监控模块，用以接收由所述传感器所感测到所述晶圆盒的所述状态的所述感测数据，并记录在第一时间点与在第二时间点之间由所述传感器所感测到所述晶圆盒于所述状态下的监控信息，并将所述第一时间点及所述第二时间点之间的所述监控信息传送给外部装置；以及/n所述第一时间点是当所述晶圆传载装置开始改变所述晶圆盒的所述状态的时间点，及所述第二时间点是当所述晶圆传载装置停止对所述晶圆盒改变所述状态的时间点。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆载具监控系统，与承载晶圆盒的晶圆传载装置连接，所述晶圆盒中容纳至少传感器，所述传感器用以持续感测所述晶圆盒的状态以得到感测数据，其特征在于，所述晶圆载具监控系统包括：
监控模块，用以接收由所述传感器所感测到所述晶圆盒的所述状态的所述感测数据，并记录在第一时间点与在第二时间点之间由所述传感器所感测到所述晶圆盒于所述状态下的监控信息，并将所述第一时间点及所述第二时间点之间的所述监控信息传送给外部装置；以及
所述第一时间点是当所述晶圆传载装置开始改变所述晶圆盒的所述状态的时间点，及所述第二时间点是当所述晶圆传载装置停止对所述晶圆盒改变所述状态的时间点。


2.如权利要求1所述的晶圆载具监控系统，其特征在于，所述感测数据是温湿度值、水平值及/或振动值。


3.如权利要求1所述的晶圆载具监控系统，其特征在于，所述外部装置为远端的电子装置。


4.如权利要求1所述的晶圆载具监控系统，其特征在于，更包含显示器装置与所述监控模块连接，用以实时显示由所述监控模块在所述第一时间点及在所述第二时间点之间监控得到的所述监控信息。


5.如权利要求1所述的晶圆载具监控系统，其特征在于，更包含软件与所述监...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈勇州，胡瀚承，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71