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一种晶圆载具监控系统包括监控模块，监控模块用以接收由传感器所感测到的晶圆盒的状态的感测数据，并记录在第一时间点与在第二时间点之间由传感器所感测到晶圆盒于状态下的监控信息，并将第一时间点及第二时间点之间的监控信息传送给外部装置；第一时间点是当...
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