采用光电效应测试电气迹的装置和方法制造方法及图纸

用于诸如电路板上的电气迹的测试器，包括：诸如为生成紫外线射束的激光器的电磁射束源；真空室；电极电路，包括电极和相应的电子器件，后者包括用于测量迹与电极之间的光电子流的电流表；控制器；激光束光学器件；图像采集系统；和一对宽带紫外线灯。在测试中，具有迹的板放置在处于低压的真空室中，这时在板的每一侧有格栅电极靠近迹区域。电极电子器件有选择地在每个电极上保持一个已知的电位。迹的准确的位置利用一个图像采集系统来确定。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测试诸如在一个基片如印刷电路板上的电气迹(electrical trace)，测试其诸如开路、短路、颈缩(neck-down)或异常蚀刻；更具体地说涉及采用光电效应的测试方法。在制造电子元件方面，封装密度已经大大增大，导致位于具有许多从一侧到另一侧的连接的基片两侧的迹极其窄且薄。这种细迹制造困难，使得缺陷较为常见。因此，测试在基片两侧的细迹和从基片一侧到另一侧的连接的质量已经变得日益重要。大多数有关测试迹的常规方法涉及用一个或两个测试探针对迹进行物理接触。测试探针的物理放置精度和物理尺寸限制了其在大量测试方面的应用。许多电流迹小或密集，使得它们只能利用非常费时且不经济的过程与一个物理探针单独相连。虽然接触式探针可以获得并能够用于生产方式，然而接触的作用，更确切地说所需要的得到良好电接触的力太高，足以使薄薄的迹遭受永久性的损坏，使其无用。因此，一直需要一种用于测试开路、短路、颈缩(neck-down)或异常蚀刻的测试装置和方法，其中，迹不被物理接触，并且，不是过于费时。本专利技术是一种用于诸如在电路板的的电气迹的测试器，其优选实施例概略地说包括一个生成一紫外线射束的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测试电气迹（８５）的测试器（１０），其特征在于，它包括：电磁源（１８），首先用于把电磁辐射（２１）的第一射束（３９Ｕ）射到一个电气迹（８５Ｕ）上的第一位置上，以在其上产生光电效应，另外用于把电磁辐射（２５）的第二射束（３９Ｌ）射 到上述迹（８５）上的第二位置上，以在其上产生光电效应；电极电路（４９），包括一个置于上述迹（８５）附近的电极（５１），所述电极电路（４９）用于把所述电极（５１）保持在给定的电位，以便收集通过上述射束（３９Ｕ，３９Ｌ）在迹（８５）上产生的 光电效应而释放的电子；和一个仪表（５７），用于测量在所述电极电路（４９）和迹（８５）之间的光电流。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：马里奥A库吉尼，
申请(专利权)人：马尼亚泰克公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]