一种四氟化碳的二级反应器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种四氟化碳的二级反应器，包括壳体，所述壳体内设有反应腔，所述反应腔内设有隔网，所述隔网上设有固态含碳原料，所述壳体上安装有加热器，且所述加热器设于反应腔外侧，所述壳体顶部安装有冷却机构，且所述冷却机构连通反应腔，所述壳体底部设有过滤机构，且所述过滤机构连通反应腔，该四氟化碳的二级反应器采用冷却机构降低了气体通入时的温度，减少高温产生的安全隐患，且提高了氟气与固态含碳原料的接触面积，提高氟气的反应效率，有利于四氟化碳的生产速率。

【技术实现步骤摘要】
一种四氟化碳的二级反应器
本技术涉及一种四氟化碳的二级反应器，属于四氟化碳生产

技术介绍
四氟化碳是目前微电子工业中重要的等离子体蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用，在四氟化碳生产中，在一级反应器中反应放出大量的热量，在混合气体导入二级反应器时温度过高会对温度检测器造成损坏，存在安全隐患，另外，混合气体进入二级反应器内与固态含碳原料反应效率过低，影响氟气的反应率，造成材料的浪费。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种四氟化碳的二级反应器，采用风冷及水冷的冷却方式快速对混合气体进行降温，避免造成安全隐患，采用隔网将固态含碳原料分隔，使混合气体充分与固态含碳原料接触，提高反应的效率。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种四氟化碳的二级反应器，包括壳体，所述壳体内设有反应腔，所述反应腔内设有隔网，所述隔网上设有固态含碳原料，所述壳体上安装有加热器，且所述加热器设于反应腔外侧，所述壳体顶部安装有冷却机构，且所述冷却机构连通反应腔，所述壳体底部设有过滤机构，且所述过滤机构连通反应腔。进一步的，所述壳体一侧设有加料口，且所述加料口连通反应腔。进一步的，所述冷却机构顶部设有进气口，且所述进气口连通冷却机构。进一步的，所述过滤机构底部设有出气口，且所述出气口连通过滤机构。进一步的，所述冷却机构包括框体、冷水夹层、冷风管，所述冷水夹层设于框体上，所述冷风管贯穿框体。进一步的，所述冷水夹层连通有进水口与出水口，所述进水口设于出水口上方，且所述进水口与出水口分别设于框体两侧。进一步的，所述冷风管两端分别设有进风口与出风口，且所述进风口与出风口分别设于框体两侧。进一步的，所述过滤机构包括主体与过滤网，所述过滤网设于主体内。本技术的有益效果是：1、通过设置隔网，将固态含碳原料分隔开来，使气体与固态含碳原料可以充分的接触，提高反应的效率，提高了氟气的反应率，减少了原料的浪费；2、通过设置冷却机构，采用风冷与水冷的双重冷却方式，对混合气体进行快速的降温处理，避免高温造成安全隐患，提高使用的安全性；3、通过设置过滤机构面对排出的气体进行过滤，去除混合的杂质，从而有效的提高产品的质量。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的具体实施方式一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。图1是本技术一种四氟化碳的二级反应器的正视图；图2是本技术一种四氟化碳的二级反应器的冷却机构的结构示意图；图3是本技术一种四氟化碳的二级反应器的壳体的内部结构示意图；图4是本技术一种四氟化碳的二级反应器的过滤机构的结构示意图。图中标号：1、壳体；2、反应腔；3、隔网；4、固态含碳原料；5、加热器；6、冷却机构；7、过滤机构；8、加料口；9、进气口；10、出气口；11、框体；12、冷水夹层；13、冷风管；14、进水口；15、出水口；16、进风口；17、出风口；18、主体；19、过滤网。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。实施例1如图1-图4所示，一种四氟化碳的二级反应器，包括壳体1，所述壳体1内设有反应腔2，所述反应腔2内设有隔网3，提高气体与固态含碳原料4的接触面积，所述隔网3上设有固态含碳原料4，所述壳体1上安装有加热器5，且所述加热器5设于反应腔2外侧，所述壳体1顶部安装有冷却机构6，且所述冷却机构6连通反应腔2，快速对气体进行降温，所述壳体1底部设有过滤机构7，且所述过滤机构7连通反应腔2，提高产品的质量。更具体而言，所述壳体1一侧设有加料口8，且所述加料口8连通反应腔2，用于添加固态含碳原料4，所述冷却机构6顶部设有进气口9，且所述进气口9连通冷却机构6，所述过滤机构7底部设有出气口10，且所述出气口10连通过滤机构7，所述冷却机构6包括框体11、冷水夹层12、冷风管13，所述冷水夹层12设于框体11上，所述冷风管13贯穿框体11，所述冷水夹层12连通有进水口14与出水口15，所述进水口14设于出水口15上方，且所述进水口14与出水口15分别设于框体11两侧，所述冷风管13两端分别设有进风口16与出风口17，且所述进风口16与出风口17分别设于框体11两侧，采用风冷与水冷的双重冷却方式提高冷却的效率，所述过滤机构7包括主体18与过滤网19，所述过滤网19设于主体18内，用于过滤气体。实施例2如图4所示，所述过滤网19设为两层，且上层的过滤网19上的滤孔直径大于下层的过滤网19上的滤孔直径，提高了过滤的效果。本技术工作原理：使用时，气体经进气口9通入冷却机构6，在风冷及水冷下对气体进行冷却，随后气体接触固态含碳原料4，启动加热器，使其内温度升到反应温度，反应后气体经过过滤机构7，去除杂质后由出气口10排出。以上为本技术较佳的实施方式，本技术所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改，因此，本技术并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本技术的基础上所作的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种四氟化碳的二级反应器，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内设有反应腔(2)，所述反应腔(2)内设有隔网(3)，所述隔网(3)上设有固态含碳原料(4)，所述壳体(1)上安装有加热器(5)，且所述加热器(5)设于反应腔(2)外侧，所述壳体(1)顶部安装有冷却机构(6)，且所述冷却机构(6)连通反应腔(2)，所述壳体(1)底部设有过滤机构(7)，且所述过滤机构(7)连通反应腔(2)。/n

【技术特征摘要】
1.一种四氟化碳的二级反应器，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内设有反应腔(2)，所述反应腔(2)内设有隔网(3)，所述隔网(3)上设有固态含碳原料(4)，所述壳体(1)上安装有加热器(5)，且所述加热器(5)设于反应腔(2)外侧，所述壳体(1)顶部安装有冷却机构(6)，且所述冷却机构(6)连通反应腔(2)，所述壳体(1)底部设有过滤机构(7)，且所述过滤机构(7)连通反应腔(2)。


2.根据权利要求1所述的一种四氟化碳的二级反应器，其特征在于：所述壳体(1)一侧设有加料口(8)，且所述加料口(8)连通反应腔(2)。


3.根据权利要求1所述的一种四氟化碳的二级反应器，其特征在于：所述冷却机构(6)顶部设有进气口(9)，且所述进气口(9)连通冷却机构(6)。


4.根据权利要求1所述的一种四氟化碳的二级反应器，其特征在于：所述过滤机构(7)底部设有出气口(10)，且所述出气口(10)连通过滤机...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志强，林百志，王凤侠，傅赞荣，
申请(专利权)人：福建德尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35