导电图案检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种导电图案检查装置，可以更简单进行可靠性高的导电图案的状态的检查。导电图案检查装置（１０）具有与检查对象图案（１４）的一端静电耦合的传感器电极（１８）和与全部导电图案（１４）的另一端静电耦合的馈电电极（１６）。并且，经馈电电极（１６）和传感器电极（１８）向对象图案施加交流信号，而检测出在电源（２０）和传感器电极（１８）之间流过的电流值。根据所检测出的电流值检测出有无导电图案的短路和短路。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检查在衬底上形成的导电图案的状态的导电图案检查装置。
技术介绍
作为检查在衬底上形成的导电图案(conductive pattern)的状态的方法，现有技术中，已知使触头探针(pin probe)接触导电图案两端的方法。其在一个触头探针中流过电流而通过另一个触头探针检测电压值。并且，通过从所检测的值中求出导电图案的电阻值，而检测出导电图案的断路(disconnection)和短路(short)。但是，该方法中，存在因触头探针的接触造成的导电图案损伤和必须根据导电图案的间距来替换触头探针的问题。因此，日本专利申请公开2002-365325号公报中公开了非接触检查导电图案的状态的电路图案检查装置。其从与导电图案的一端静电电容耦合(electrostatic capacitory coupling)的馈电电极将交流信号馈电给导电图案。并且，通过静电电容耦合到导电图案的另一端的两种传感器电极检测出该信号，并根据所检测出的信号来检查导电图案的状态。由此，由于可以非接触地检查，所以不会损伤图案，不需要根据间距来替换探针。但是，该检查装置中，形成馈电的信号从馈电电极向导电图案，从导电图案流向地的电流路径。因此，导电图案上所感应的电压值非常小，很容易受到杂音的影响。因此，不能进行可靠性高的检查。另外，需要供给高电压的信号，而需要放电等的对策。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是提供一种可更简单地进行可靠性高的检查的导电图案检查装置。根据本专利技术的导电图案检查装置，检查在衬底上配置的多个导电图案的状态，其特征在于，包括传感器电极，与检查对象图案的一端静电耦合；馈电电极，与包含检查对象图案的至少两个以上的连续导电图案的另一端电连接；信号施加单元，经馈电电极和传感器电极向对象图案施加交流信号；电流值检测单元，检测出在信号施加单元的电源和传感器电极或馈电电极间流过的电流值；缺陷检测单元，根据所检测出的电流值，检测出有无导电图案的断路或短路。根据本专利技术的另一导电图案检查装置，检查在衬底上配置的多个导电图案的状态，其特征在于，包括一对第一电极，与包含对象图案和其两侧的导电图案的至少三个以上的导电图案的两端电连接；一对第二电极，为配置在对象图案的两侧的导电图案上的一对电极，且分别静电耦合到两侧的导电图案上；第一施加单元，经一对第一电极将第一频率的交流信号施加给导电图案；第二施加单元，经一对第二电极将第二频率的交流信号施加给导电图案；传感器电极，为设置在对象图案上的电极，且静电耦合到对象图案上；电压检测单元，检测出传感器电极的每个频率的电压值；缺陷检测单元，根据所检测出的电压值检测有无断路和短路。根据本专利技术的其他导电图案检查装置，检查在衬底上按列状配置、并通过Cs用公共条连接其一端的多个Cs图案和与Cs图案彼此交互按列状配置的多个栅极图案，其特征在于，包括Cs用电极，与包含对象Cs图案的至少一个以上的Cs图案的另一端静电耦合；Cs用施加单元，经Cs用公共条和Cs用电极将第一频率的交流信号施加给对象Cs图案；一对栅极用电极，与包含相邻于对象Cs图案的对象栅极图案的至少一个以上的栅极图案的两端电连接；栅极用施加单元，经一对栅极用电极将第二频率的交流信号施加给对象栅极图案；传感器电极，与对象Cs图案或对象栅极图案静电耦合；电压值检测单元，检测出传感器电极的每个频率的电压值；缺陷检测单元，根据所检测出的电压值检测出Cs图案和栅极图案的缺陷。根据本专利技术的另一导电图案检查装置，检查在衬底上按列状配置、并通过Cs用公共条连接其一端的多个Cs图案和与Cs图案彼此交互按列状配置的多个栅极图案，其特征在于，包括Cs用电极，与包含对象Cs图案的至少一个以上的Cs图案的另一端静电耦合；Cs用施加单元，经Cs用公共条和Cs用电极将交流信号施加给对象Cs图案；一对栅极用电极，与包含相邻于对象Cs图案的对象栅极图案的至少一个以上的栅极图案的两端电连接；栅极用施加单元，经一对栅极用电极将交流信号施加给对象栅极图案；传感器电极，与对象Cs图案或对象栅极图案静电耦合，与Cs用施加单元和栅极用施加单元的电源相连；电流值检测单元，检测出电源和传感器电极之间的电流值；电流值检测单元，根据所检测出的电流值检测出Cs图案和栅极图案的短路和断线。另外，这里，虽然衬底最好是用于液晶显示面板等的玻璃衬底，但是若为按列状配置多个导电图案的衬底，也可以是其他衬底。另外，导电图案包含称为栅极图案(gate pattern)、Cs图案、数据图案(datapattern)等的导电图案。根据本专利技术，向导电图案的交流信号的施加率变高，即使是低电压的交流信号，也可进行可靠性高的检查。因此，可以更简单地进行可靠性高度的检查。根据其他本专利技术，向栅极图案和Cs图案的交流信号的施加率提高，故即使为低电压的交流信号，也可进行可靠性高的检查。因此，可以更简单进行可靠性高的栅极图案和Cs图案的检查。附图说明图1是作为本专利技术的实施例的图案检查装置的概略侧面图；图2是作为本专利技术的实施例的图案检查装置的概略俯视图；图3是示出断路位置检测原理的图；图4是示出短路位置检测原理的图；图5是作为其他实施例的图案检查装置的概略俯视图；图6是作为其他实施例的图案检查装置的概略俯视图；图7是示出断路位置检测原理的图；图8是示出短路位置检测原理的图；图9是作为其他实施例的图案检查装置的概略俯视图； 图10是示出短路位置检测原理的图；图11是示出断路位置检测原理的图；图12是作为其他实施例的图案检查装置的概略俯视图；图13是作为其他实施例的图案检查装置的概略俯视图。符号说明10图案检查装置；14导电图案；16馈电电极；18，36，62传感器电极；20，40，42，64，66电源；22电流检测器；30公共条；32第一电极；34第二电极；44电压值检测器；50栅极图案；52Cs图案；56栅极用电极；60Cs用电极；82引出电极。具体实施例方式下面，参照附图说明本专利技术的实施例。下面的说明中，尤其将用于液晶显示面板等的玻璃衬底上配置的导电图案作为检查对象。但是，并不限于此，若为具有彼此独立的列状导电图案，也可以其他导电图案为对象。图1表示作为本专利技术的实施例的图案检查装置10的概略侧面图；图2表示概略俯视图。该装置10检查玻璃衬底12上配置的导电图案14的状态。玻璃衬底12通过图中没有示出的吸附单元固定在基台24上。在玻璃衬底12上列状配置多个导电图案14。该导电图案14在正常状态下彼此独立，而不与相邻的导电图案14接触。另外，大致等间距配置，其两端的位置大致相同。但是，即使是具有不等间距和不等长度的导电图案的玻璃衬底，也可通过调整两种电极的大小等来对应。在玻璃衬底12的上方间隔预定空间设置两种电极16、18。馈电电极16是检查时定位于导电图案14的一端上方的导电性片。其具有覆盖全部图案端部的宽度，并与全部导电图案14的一端静电耦合(capacitive coupling)。但是，馈电电极16(electric supplyelectrode)若为覆盖两个以上图案的端部的宽度，也可以是其他宽度。这时，可以配合后述的传感器电极18向Y方向的移动，馈电电极16也移动。传感器电极18是大致一个图案宽的导电型片。其在检查有无断路或本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导电图案检查装置，检查在衬底上配置的多个导电图案的状态，其特征在于，包括：传感器电极，与检查对象图案的一端静电耦合；馈电电极，与包含检查对象图案的至少两个以上的连续导电图案的另一端电连接；信号施加单元，经馈电电极 和传感器电极向对象图案施加交流信号；电流值检测单元，检测出在信号施加单元的电源和传感器电极或馈电电极间流过的电流值；缺陷检测单元，根据所检测出的电流值，检测导电图案有无断路或短路。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小原徹，板垣卓男，藤井昌幸，
申请(专利权)人：株式会社东京阴极研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]