导电图案检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种导电图案检查装置，可以更简单进行可靠性高的导电图案的状态的检查。导电图案检查装置（１０）具有与检查对象图案（１４）的一端静电耦合的传感器电极（１８）和与全部导电图案（１４）的另一端静电耦合的馈电电极（１６）。并且，经馈电电极（１６）和传感器电极（１８）向对象图案施加交流信号，而检测出在电源（２０）和传感器电极（１８）之间流过的电流值。根据所检测出的电流值检测出有无导电图案的短路和短路。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检查在衬底上形成的导电图案的状态的导电图案检查装置。
技术介绍
作为检查在衬底上形成的导电图案(conductive pattern)的状态的方法，现有技术中，已知使触头探针(pin probe)接触导电图案两端的方法。其在一个触头探针中流过电流而通过另一个触头探针检测电压值。并且，通过从所检测的值中求出导电图案的电阻值，而检测出导电图案的断路(disconnection)和短路(short)。但是，该方法中，存在因触头探针的接触造成的导电图案损伤和必须根据导电图案的间距来替换触头探针的问题。因此，日本专利申请公开2002-365325号公报中公开了非接触检查导电图案的状态的电路图案检查装置。其从与导电图案的一端静电电容耦合(electrostatic capacitory coupling)的馈电电极将交流信号馈电给导电图案。并且，通过静电电容耦合到导电图案的另一端的两种传感器电极检测出该信号，并根据所检测出的信号来检查导电图案的状态。由此，由于可以非接触地检查，所以不会损伤图案，不需要根据间距来替换探针。但是，该检查装置中，形成馈电的信号从馈电电极向导电图案，从本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导电图案检查装置，检查在衬底上配置的多个导电图案的状态，其特征在于，包括：传感器电极，与检查对象图案的一端静电耦合；馈电电极，与包含检查对象图案的至少两个以上的连续导电图案的另一端电连接；信号施加单元，经馈电电极 和传感器电极向对象图案施加交流信号；电流值检测单元，检测出在信号施加单元的电源和传感器电极或馈电电极间流过的电流值；缺陷检测单元，根据所检测出的电流值，检测导电图案有无断路或短路。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：小原徹，板垣卓男，藤井昌幸，
申请(专利权)人：株式会社东京阴极研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]