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本发明提供一种导电图案检查装置，可以更简单进行可靠性高的导电图案的状态的检查。导电图案检查装置（１０）具有与检查对象图案（１４）的一端静电耦合的传感器电极（１８）和与全部导电图案（１４）的另一端静电耦合的馈电电极（１６）。并且，经馈电电极（...
该专利属于株式会社东京阴极研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东京阴极研究所授权不得商用。

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