有机EL显示装置及有机EL显示装置的制造方法制造方法及图纸

有机EL显示装置具备：基板，其具有形成包含薄膜晶体管的驱动电路的表面；平坦化膜，其通过覆盖所述驱动电路使所述基板的所述表面平坦化；以及有机发光元件，其形成于所述平坦化膜的表面上，并与所述驱动电路电连接，所述平坦化膜包含层叠于所述驱动电路上的第一无机绝缘膜、层叠于所述第一无机绝缘膜上的第二无机绝缘膜以及层叠于所述有机绝缘膜上的第二无机绝缘膜，所述第二无机绝缘膜的朝向所述有机绝缘膜的相反方向的表面具有50nm以下的算术平均粗糙度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有机EL显示装置及有机EL显示装置的制造方法
本专利技术关于有机EL显示装置及有机EL显示装置的制造方法。
技术介绍
近年来，应用在电视接收机等而不断发展的有机EL显示装置中，具备有形成在每个像素的有机发光元件，以及通过规定的电流使有机EL发光元件发光的驱动电路。在有源矩阵型的有机EL显示装置中，在设置成矩阵状的每个像素上，于玻璃基板等表面上形成有构成驱动电路的薄膜晶体管，在覆盖该薄膜晶体管的绝缘膜上形成有有机发光元件。在专利文献1中公开了，在这种有源矩阵型的显示器中应降低薄膜晶体管相对于像素的占有面积，以形成多层结构的薄膜晶体管。现有技术文献专利文献专利文献1：特开2017-11173号公报
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在有机EL显示装置中，例如，若在每个像素或显示画面中的每个任意区域中产生亮度不均或颜色不均(以下，将亮度不均及/或颜色不均总称为“显示不均”)等时，则显示品质降低，从而该产品的价值降低。因此，在有机EL显示装置中，在驱动电路中追加针对显示不均的补偿电路，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机EL显示装置，其特征在于，具备：/n基板，其具有形成包含薄膜晶体管的驱动电路的表面；/n平坦化膜，其通过覆盖所述驱动电路使所述基板的所述表面平坦化；以及/n有机发光元件，其形成于所述平坦化膜的表面上，并与所述驱动电路电连接，/n所述平坦化膜包含层叠于所述驱动电路上的第一无机绝缘膜、层叠于所述第一无机绝缘膜上的有机绝缘膜以及层叠于所述有机绝缘膜上的第二无机绝缘膜，/n所述第二无机绝缘膜的朝向与所述有机绝缘膜的相反方向的表面具有50nm以下的算术平均粗糙度。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种有机EL显示装置，其特征在于，具备：
基板，其具有形成包含薄膜晶体管的驱动电路的表面；
平坦化膜，其通过覆盖所述驱动电路使所述基板的所述表面平坦化；以及
有机发光元件，其形成于所述平坦化膜的表面上，并与所述驱动电路电连接，
所述平坦化膜包含层叠于所述驱动电路上的第一无机绝缘膜、层叠于所述第一无机绝缘膜上的有机绝缘膜以及层叠于所述有机绝缘膜上的第二无机绝缘膜，
所述第二无机绝缘膜的朝向与所述有机绝缘膜的相反方向的表面具有50nm以下的算术平均粗糙度。


2.如权利要求1所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述第二无机绝缘膜的所述表面具有20nm以上50nm以下的算术平均粗糙度。


3.如权利要求1或2所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述有机绝缘膜为不包含感光体的丙烯酸树脂，或不包含感光体的聚酰亚胺树脂。


4.如权利要求1～3任一项所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述有机绝缘膜的朝向所述第二无机绝缘膜的表面具有100nm以上300nm以下的算术平均粗糙度。


5.如权利要求4所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述有机绝缘膜包含有含有比率为0.5质量％以上，5质量％以下的添加剂，所述添加剂使所述有机绝缘膜的所述表面的平坦性提高。


6.如权利要求1～5任一项所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述驱动电路和所述有机发光元件经由金属连接，所述金属被埋入同时贯穿所述第一无机绝缘膜、所述有机绝缘膜及所述第二无机绝缘膜的接触孔。


7.如权利要求1～6任一项所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述第二无机绝缘膜的厚度基于所述有机绝缘膜的朝向所述第二无机绝缘膜的表面的凹凸变动，且为所述有机绝缘膜的所述表面的整个表面上的所述凹凸的最大高低差的一倍以上三倍以下。


8.一种有机EL显示装置的制造方法，其特征在于，具备：
在基板上形成包含薄膜晶体管的驱动电路的工序、
在所述驱动电路的表面上形成第一无机绝缘膜、有机绝缘膜及第二无机绝缘膜的工序、
将所述第二无机绝缘膜的表面研磨的...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本克彦，
申请(专利权)人：堺显示器制品株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP