有机EL显示装置以及有机EL显示装置的制造方法制造方法及图纸

有机EL显示装置具备：基板，其具有表面，上述表面形成有包含薄膜晶体管的驱动电路；平坦化膜，其通过覆盖驱动电路，从而使基板的表面平坦化；以及有机发光元件，其形成在平坦化膜的朝向与驱动电路相反方向的表面上，并与驱动电路电连接，平坦化膜的表面具有50nm以下的算术平均粗糙度，薄膜晶体管具有：栅电极、漏电极、源电极以及包含成为薄膜晶体管的沟道的区域且与源电极以及漏电极局部重叠的半导体层，构成漏电极的第一导体膜以及构成源电极的第二导体膜各自的一部分沿着规定方向交替排列，成为沟道的区域夹设在第一导体膜的一部分与第二导体膜的一部分之间。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有机EL显示装置以及有机EL显示装置的制造方法
本专利技术涉及有机EL显示装置以及有机EL显示装置的制造方法。
技术介绍
近年来，不断应用到电视接收机等中的有机EL显示装置具备按每个像素形成的有机发光元件、以及使有机发光元件以所希望的电流发光的驱动电路。在有源矩阵型的有机EL显示装置中，构成驱动电路的薄膜晶体管按以矩阵状设置的每个像素，形成在玻璃基板等的表面上，并在覆盖该薄膜晶体管的绝缘膜上形成有机发光元件。专利文献1公开了如下的技术：为了在此种有源矩阵型显示器中减少薄膜晶体管相对于像素的占有面积，形成多层构造的薄膜晶体管。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-11173号公报
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在有机EL显示装置中，由于有机发光元件为电流驱动型的发光元件，所以对其驱动电路要求比液晶显示装置高的电流供给能力(驱动能力)。如专利文献1那样通过使薄膜晶体管成为层叠构造，虽然能够提高驱动能力，但制造成本必然增大。但是，为了使有机EL显示面板进一步普及到大型本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机EL显示装置，其特征在于，具备：/n基板，其具有表面，所述表面形成有包含薄膜晶体管的驱动电路；/n平坦化膜，其通过覆盖所述驱动电路，从而使所述基板的所述表面平坦化；以及/n有机发光元件，其形成在所述平坦化膜的朝向与所述驱动电路相反方向的表面上，并与所述驱动电路电连接，/n所述平坦化膜的所述表面具有50nm以下的算术平均粗糙度，/n所述薄膜晶体管具有：栅电极、漏电极、源电极以及包含成为所述薄膜晶体管的沟道的区域且与所述源电极以及所述漏电极局部重叠的半导体层，/n构成所述漏电极的第一导体膜以及构成所述源电极的第二导体膜各自的一部分沿着规定方向交替排列，/n成为所述沟道的区域夹设在所述第...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种有机EL显示装置，其特征在于，具备：
基板，其具有表面，所述表面形成有包含薄膜晶体管的驱动电路；
平坦化膜，其通过覆盖所述驱动电路，从而使所述基板的所述表面平坦化；以及
有机发光元件，其形成在所述平坦化膜的朝向与所述驱动电路相反方向的表面上，并与所述驱动电路电连接，
所述平坦化膜的所述表面具有50nm以下的算术平均粗糙度，
所述薄膜晶体管具有：栅电极、漏电极、源电极以及包含成为所述薄膜晶体管的沟道的区域且与所述源电极以及所述漏电极局部重叠的半导体层，
构成所述漏电极的第一导体膜以及构成所述源电极的第二导体膜各自的一部分沿着规定方向交替排列，
成为所述沟道的区域夹设在所述第一导体膜的所述一部分与所述第二导体膜的所述一部分之间。


2.根据权利要求1所述的有机EL显示装置，其特征在于，
成为由所述第一导体膜的一部分和所述第二导体膜的一部分夹着的所述沟道的区域设置有多个，所述半导体层由非晶硅构成，将成为所述沟道的多个区域中的所述第一导体膜的所述一部分与所述第二导体膜的所述一部分的相互对置的部分的长度之和设为W，将所述对置的部分中的所述第一导体膜与所述第二导体膜之间的间隔设为L时，W/L为50以上且500以下。


3.根据权利要求1或2所述的有机EL显示装置，其特征在于，
所述第一导体膜以及所述第二导体膜形成为各自平面形状以梳形形成，并且供所述第一导体膜以及所述第二导体膜各自的梳齿部分啮合。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的有机EL显示装置，其特征在于，
所述有机发光元件的发光区域以矩形形状形成，并且所述薄膜晶体管形成于所述发光区域的下层，所述第一导体膜的所述一部分以及所述第二导体膜的所述一部分的对置的部分沿着所述矩形形状的长边形成。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的有机EL显示装置，其特征在于，
所述栅电极遍及所述第一导体膜的所述一部分与所述第二导体膜的所述一部分的相互对置的部分的长度的范围的整体而形成。


6.根据权利要求1～5中任一项所述的有机EL显示装置，其特征在于，
所述平坦化膜包括：层叠在所述驱动电路上的第一无机绝缘膜、层叠在所述第一无机绝缘膜上的有机绝缘膜以及层叠在所述有机绝缘膜上的第二无机绝缘膜，
所述第二无机绝缘膜的朝向与所述有机绝缘膜相反方向的表面具有20nm以上且50nm以下的表面粗糙度。


7.根据权利要求6所述的有机EL显示装置，其特征在于，
所述第二无机绝缘膜的厚度基于所述有机绝缘膜的朝向所述第二无机绝缘膜的表面的凹凸而变动，并且成为所述有机绝缘膜的所述表面的整个面中所述凹凸的最大高低差的1倍以上且3倍以下。


8.一种有机EL显示装置的制造方法，其特征在于，包含：
在基板上形成包含薄膜晶体管的驱动电路的工序；
在所述驱动电路的表面形成第一无机绝缘膜、有机绝缘膜以及第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本克彦，西冈幸也，
申请(专利权)人：堺显示器制品株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP