用于基片的选择性蒸气涂覆的装置和方法制造方法及图纸

一种用在涂覆作业中的装夹工具(1)，其优选呈可绕中心轴线(L)回转的转盘形式，并且包括固定有屏罩的支承结构(5)，该屏罩具有多个保持开口(19)，每个保持开口被设计成待处理物体能通过每个保持开口(19)被卡住，使得每个物体的第一部分从该屏罩延伸入涂层沉积区域，而每个物体的第二部分从该屏罩延伸入不发生涂层沉积的屏蔽区域，所述屏蔽区域是共同容纳多个第二部分的共用空腔(13)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于基片的选择性蒸气涂覆的装置和方法本专利技术涉及根据权利要求1的前序部分的用在物理气相沉积涂覆工艺中的装夹工具。它被设计用于同时涂覆仅需要部分涂覆的基片。这样的加工过程优选在PVD涂覆设备的沉积室中进行。此外，本专利技术涉及配备有这种装夹工具的PVD涂覆设备以及在使用本专利技术装夹工具进行PVD涂覆的方法。
技术介绍
飞机、直升机和越野车辆的燃气涡轮发动机通常在多尘环境中运行，在多尘环境中，燃气涡轮压缩机的转子叶片和定子叶片(统称为“涡轮叶片”)暴露在腐蚀性介质如沙子下。这也涉及到民用飞机，它们有时必须应对被平流层区域正下方的喷射气流所扫走的火山灰的上升。在这种情况下可能出现有害的机械腐蚀。此外，下游的涡轮叶片可能过度暴露在灼热燃烧气体下。因此，它们易于热过载和/或热腐蚀。作为一种补救措施，耐蚀硬质材料涂层和/或减小热负荷和/或腐蚀的涂层(例如TiN、TiCN、TiZrN、TiZrCN、TiAlN和TiAlCN)将被施加至各涡轮叶片上。一种典型的施加这种硬质材料涂层的方法是阴极电弧物理气相沉积及其所有变型。涡轮叶片通常可被分为两部分，即，形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用在涂覆作业中的装夹工具(1)，优选呈可绕中心轴线(L)回转的转盘形式，包括/n固定有屏罩的支承结构(5)，/n该屏罩具有多个保持开口(19)，每个保持开口被设计成/n待处理物体能通过每个保持开口(19)被卡住，/n使得每个物体的第一部分从该屏罩延伸入涂层沉积区域，/n而每个物体的第二部分从该屏罩延伸入不发生涂层沉积的屏蔽区域，/n其特征在于，/n所述屏蔽区域是共同容纳多个第二部分的共用空腔(13)。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180329 DE 102018107606.11.一种用在涂覆作业中的装夹工具(1)，优选呈可绕中心轴线(L)回转的转盘形式，包括
固定有屏罩的支承结构(5)，
该屏罩具有多个保持开口(19)，每个保持开口被设计成
待处理物体能通过每个保持开口(19)被卡住，
使得每个物体的第一部分从该屏罩延伸入涂层沉积区域，
而每个物体的第二部分从该屏罩延伸入不发生涂层沉积的屏蔽区域，
其特征在于，
所述屏蔽区域是共同容纳多个第二部分的共用空腔(13)。


2.根据权利要求1所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述支承结构(5)具有中心管(6)，所述中心管被所述屏罩包围，并与所述屏罩一起限定出呈共用空腔(13)形状的所述屏蔽区域。


3.根据权利要求1或2所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述支承结构(5)包括从所述中心管(6)延伸的第一凸缘(7)和第二凸缘(8)，所述凸缘(7,8)形成用于附接所述屏罩或屏罩板(2)的底部。


4.根据权利要求3所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述凸缘(7,8)通过直接接触所述屏罩的支撑杆(9)相互联接。


5.根据前述权利要求中任一项所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述屏罩由多个屏罩板(2)形成，紧邻的屏罩板(2)的侧凸缘在支撑杆(9)参与或没有参与的情况下，在所述屏罩板(2)就位准备用于沉积作业时，共同密封呈共用空腔(13)形状的所述屏蔽区域。


6.根据前述权利要求中任一项所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述屏罩板(2)是平面板。


7.根据前述权利要求中任一项所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述凸缘(7,8)的周边形成具有用于附接所述屏罩板(2)的多个平坦底边的多边形。...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲁道夫·麦勒尔，克里斯托弗·博尔奎安，
申请(专利权)人：欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH