【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜的前叉挂具
本技术涉及镀膜
,具体涉及一种用于真空镀膜的前叉挂具。
技术介绍
真空镀膜是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上,也称为物理气相沉积(PVD)。目前真空镀膜技术主要有蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀这三种方法。现有技术中真空镀膜设备主要采用圆筒形的腔体,在腔体中间竖立靶材,通电来释放电子。待镀膜产品以挂具的形式固定在电极周围,将待镀膜的面朝向电极。以上结构在腔体抽真空后充惰性气体之后,由电极放电,待镀膜产品朝向电极的一面会接收到电子来完成镀膜的沉积。如图1所示,前叉包括有连接管、竖管以及组合连接管与竖管的叉肩,竖管远离叉肩的一侧设置有用于与前轮连接的爪钩,通常竖管以及叉肩均为圆形管状结构,而前叉仅以真空镀膜设备的中心线转动难以在前叉圆弧面上形成均匀镀膜,而在转动前叉后又会造成两次镀膜的厚度不同,对工艺的要求十分的高,现有技术存在改进之处。 >
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种用于真空镀膜的前叉挂具,其特征在于,包括有框架本体以及设置在所述框架本体中心线上的转轴,所述框架本体内设置有放置架和限位架,所述放置架包括有设置在所述框架本体上的横杆,所述横杆上设置有若干用于卡接前叉爪钩的放置座,所述放置座沿所述横杆的长度方向均匀设置;所述限位架包括有用于抵接前叉叉肩的限位杆。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜的前叉挂具,其特征在于,包括有框架本体以及设置在所述框架本体中心线上的转轴,所述框架本体内设置有放置架和限位架,所述放置架包括有设置在所述框架本体上的横杆,所述横杆上设置有若干用于卡接前叉爪钩的放置座,所述放置座沿所述横杆的长度方向均匀设置;所述限位架包括有用于抵接前叉叉肩的限位杆。
2.根据权利要求1所述的前叉挂具,其特征在于,所述放置架包括有与所述框架本体固定连接的第一中心杆,所述第一中心杆的长度方向均匀排布若干所述横杆,所述横杆上的放置座对称设置在所述第一中心杆的两侧。
3.根据权利要求2所述的前叉挂具,其特征在于,所述框架本体内沿所述转轴轴线方向设置有若干组放置架,所述限位架与所述放置架一一对应设置。
4.根据权利要求3所述的前叉挂具,其特征在于,所述限位架还包括有与所述框架本体滑动连接的连接座以及连接两所述连接座的第二中心杆,所述限位杆平行于所述第二中心杆设置,所述限位杆贯穿位于所述第一中心杆全部横杆。
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【专利技术属性】
技术研发人员:赵鉴,
申请(专利权)人:昆山吉纳尔车料有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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