下载用于基片的选择性蒸气涂覆的装置和方法的技术资料

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一种用在涂覆作业中的装夹工具(1),其优选呈可绕中心轴线(L)回转的转盘形式,并且包括固定有屏罩的支承结构(5),该屏罩具有多个保持开口(19),每个保持开口被设计成待处理物体能通过每个保持开口(19)被卡住,使得每个物体的第一部分从该屏罩...
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