【技术实现步骤摘要】
一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具
本技术涉及一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具,属于真空镀膜夹治具
技术介绍
随着我国进入制造业强国,一些高性能的材料被大量采用,提高优越的性能的同时,加工难度与成本也随之剧增,怎么应用相对较低质材料而具备高材料性能,具有改善工模具、刀具表面硬度,耐磨性,耐高温等多种pvd(物理气相沉积)镀膜涂层也应运而生。pvd(物理气相沉积)硬质涂层品质的性能好坏与机器设备、靶材间距、气体流量稳定性、镀膜工艺、工件挂装方式等相关,目前市场上机器设备与靶材间距都已固定,镀膜工艺与气体流量稳定性已趋于成熟,工件的挂装方式是一个提高涂层品质与性能一个很好的质量控制点。目前一些镀膜工件挂架只有单一的公自转转轴,工件之间遮挡较多,且背向靶源一侧的镀膜效果较差甚至无法实现镀膜,导致镀膜均匀性较差,影响涂层品质与性能,镀膜工件使用寿命不能实现较大的提升。因此为了满足市场对高品质,多面镀膜工件的需求,需要开发一种可公自转的pvd镀膜工件悬挂装置,以期提高pvd涂层均匀性,提高品 ...
【技术保护点】
1.一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具,其特征在于:包含主动力传动杆(101)、主轴承(102)、圆盘架和拨杆机构;所述主动力传动杆(101)通过主轴承(102)带动圆盘架转动,圆盘架上设置有多个活动机构(103),多个活动机构(103)环绕主动力传动杆(101)的轴线排列,活动机构(103)上设置有轴销(113)和多个从动杆(114),活动机构(103)通过轴销(113)转动设置在圆盘架上,多个从动杆(114)环绕轴销(113)的轴线排列;所述拨杆机构包含从动套筒(110),从动套筒(110)上设置有多个拨杆(112),拨杆(112)用于拨动活动机构(103)的从动杆(114)。/n
【技术特征摘要】
1.一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具,其特征在于:包含主动力传动杆(101)、主轴承(102)、圆盘架和拨杆机构;所述主动力传动杆(101)通过主轴承(102)带动圆盘架转动,圆盘架上设置有多个活动机构(103),多个活动机构(103)环绕主动力传动杆(101)的轴线排列,活动机构(103)上设置有轴销(113)和多个从动杆(114),活动机构(103)通过轴销(113)转动设置在圆盘架上,多个从动杆(114)环绕轴销(113)的轴线排列;所述拨杆机构包含从动套筒(110),从动套筒(110)上设置有多个拨杆(112),拨杆(112)用于拨动活动机构(103)的从动杆(114)。
2.根据权利要求1所述的可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具,其特征在于:所述圆盘架包含上活动盘(104)和底托活动盘(106),上活动盘(104)位于底托活动盘(106)的上侧,上活动盘(104)与底托活动盘(106)固定连接,上活动盘(104)与主轴承(102)固定连接;所述的活动机构(103)通过轴销(113)转动设置在底托活动盘(106)上,上活动盘(104)具有用于避让活动...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄海登,范玉山,文兵,
申请(专利权)人:苏州德耐纳米科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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