【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷板与金属制圆筒部件的焊接装置
本专利技术涉及焊接装置领域，具体的涉及一种陶瓷板与金属制圆筒部件的焊接装置。
技术介绍
静电卡盘作为用于吸附晶片并在半导体制造工艺中控制晶片温度的保持部件而使用，作为这样的静电卡盘，已知有从设有气体导入孔的圆板状陶瓷板的背面侧接合金属制气体导入管，向晶片的吸附面供给He气等，使导热性提高的静电卡盘，静电卡盘在制造的过程中需要采用焊接技术对制造静电卡盘的陶瓷板与金属制圆筒进行焊接连接，因此需要焊接装置来对其进行焊接。现有的大部分陶瓷板与金属制圆筒的焊接装置都不具备对焊接部分的固定功能，而采用人工固定的方式，在焊接的过程中可能会出现危险且焊接的精确度低，现有的大部分焊接装置无法对焊接处有一个很好的按压和固定。
技术实现思路
1.要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题在于提供一种陶瓷板与金属制圆筒部件的焊接装置，能有效保证焊接座与陶瓷板在焊接的过程中的稳定，同时可以有效防止焊料从连接处溢出，可以提供压力使焊接座与陶瓷板保持固定。2.技术方案
【技术保护点】
1.一种陶瓷板与金属制圆筒部件的焊接装置，包括加热炉(1)，其特征在于：所述加热炉(1)，所述加热炉(1)内壁的底部固定连接有工作台(2)，所述工作台(2)顶部的右侧固定连接有限位板(4)，所述工作台(2)正面的两侧均固定连接有安装块(5)，所述安装块(5)的顶部转动连接有夹紧丝杆(6)，所述夹紧丝杆(6)的顶端固定连接有调节手轮(7)，所述夹紧丝杆(6)上螺纹连接有夹板(8)，所述加热炉(1)顶部的两侧均固定连接有固定螺母(9)，所述固定螺母(9)的内部螺纹连接有调节丝杆(10)，所述调节丝杆(10)的底端贯穿加热炉(1)并延伸至加热炉(1)的内部，所述调节丝杆(10)的...
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷板与金属制圆筒部件的焊接装置，包括加热炉(1)，其特征在于：所述加热炉(1)，所述加热炉(1)内壁的底部固定连接有工作台(2)，所述工作台(2)顶部的右侧固定连接有限位板(4)，所述工作台(2)正面的两侧均固定连接有安装块(5)，所述安装块(5)的顶部转动连接有夹紧丝杆(6)，所述夹紧丝杆(6)的顶端固定连接有调节手轮(7)，所述夹紧丝杆(6)上螺纹连接有夹板(8)，所述加热炉(1)顶部的两侧均固定连接有固定螺母(9)，所述固定螺母(9)的内部螺纹连接有调节丝杆(10)，所述调节丝杆(10)的底端贯穿加热炉(1)并延伸至加热炉(1)的内部，所述调节丝杆(10)的底端固定连接有压紧盘(11)，所述加热炉(1)内壁的底部、顶部和两侧均设置有隔热层(13)，所述加热炉(1)的左侧合页铰接有密封门(12)，所述密封门(12)的左侧固定连接有握把，所述加热炉(1)的左侧开设有放料槽(3)，所述放料槽(3)与所述调节丝杆(10)的顶端固定连接有固定手轮(14)。
一种陶瓷板与金属制圆筒部件的焊接装置，还包括具有通孔一(151)的陶瓷板(15)和金属制圆筒(16)，其特征在于，所述通孔一(151)上方的陶瓷板(15)顶部设置有凸起部(17)，所述凸起部(17)的中间位置处从上之下依次设置有相连通的接合槽(18)、锥型定位槽(19)和通孔二(20)，所述通孔二(20)的与通孔一(151)连通，所述接合槽(18)的直径从下至上逐渐递减，所述接合槽(18)底部靠近侧边位置处设置有多个环形凹槽(23)，且环形凹槽(23)截面呈倒钩状，所述金属制圆筒(16)的底端螺纹连接有焊接座(21)，所述焊接座(21)设置在接合槽(18)的中间位置处，所述焊接座(21)包括圆筒部(213)、环形定位部(216)、扇形过渡部(217)、扇形挡料部(214)和陶瓷钉(215)，所述圆筒部(213)的底端设置有与锥型定位槽(19)相互匹配的环形定位部(216)，所述环形定位部(216)卡设在锥型定位槽(19)内部，所述圆筒部(213)外侧的底端沿其圆周方向均匀设置有多个扇形过渡部(217)，所述扇形过渡部(217)的截面呈弧状，且所述扇形过渡部(217)远离圆筒部(213)的一端延伸至环形凹槽(23)内部底端，多个...
【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，刘一贺，杨云龙，王秒，赵禹，
申请(专利权)人：安徽工程大学，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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