微电子机械微波频率检测器及其制备方法技术

微电子机械微波频率检测器及其制备方法是一种结构非常简单，测量信号的幅度变大、不需要消耗直流功率，且便于集成的微电子机械微波频率检测器及其制备方法，该微电子机械微波频率检测器以砷化镓为衬底（１），在衬底（１）上设有功率分配器（ａ）、功率合成器（ｂ）、共面波导传输线（ｅ）、固支梁结构（ｃ）；被测信号通过功率分配器（ａ）产生两个信号，即形成了被测信号一～被测信号二（Ｕ↓［ｓ１］～Ｕ↓［ｓ２］）一对信号，被测信号一Ｕ↓［ｓ１］直接接到功率合成器（ｂ）的第三端口；被测信号二Ｕ↓［ｓ２］先经过一段ＣＰＷ传输线，再接到功率合成器（ｂ）的第二端口，在功率合成器（ｂ）的端口一得到第一信号，经由固支梁结构（ｃ）得到微波信号在固定长度传输线上相移φ。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的微波频率检测器，属于微电子机械系统的

技术介绍
在微波研究中，微波频率是表征微波信号特征的一个重要参数，微波频率的测量在微波无线应用和测量技术中具有非常重要的地位。传统的微波频率检测器是基于二极管的，它的缺点需要消耗直流功率、测量的信号幅度比较小。近20多年来，随着MEMS技术的飞速发展，对很多MEMS结构和器件如固支梁结构、MEMS开关等都进行了深入的研究，这些都使采用MEMS技术实现微波频率检测器成为可能。
技术实现思路
技术问题本专利技术的目的是提供一种基于MEMS技术的，使得其结构非常简单，测量信号的幅度变大、不需要消耗直流功率，且便于集成。技术方案本专利技术的微电子机械微波频率检测器以砷化镓为衬底，在衬底上设有功率分配器、功率合成器、共面波导传输线、固支梁结构功率分配器、功率合成器由共面波导构成的端口一、端口二、端口三、不对称共面带线、氮化钽电阻组成，端口一通过不对称共面带线分别接端口二、端口三，在与端口二、端口三相接的两不对称共面带线之间连接有氮化钽电阻；固支梁结构以砷化镓为衬底、在衬底上的中间设有信号输入端口本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微电子机械微波频率检测器，其特征在于该检测器以砷化镓为衬底（１），在衬底（１）上设有功率分配器（ａ）、功率合成器（ｂ）、共面波导传输线（ｅ）、固支梁结构（ｃ）：功率分配器（ａ）、功率合成器（ｂ）由共面波导构成的端口一（６）、端口 二（７）、端口三（８）、不对称共面带线（９）、氮化钽电阻（２）组成，端口一（６）通过不对称共面带线（９）分别接端口二（７）、端口三（８），在与端口二（７）、端口三（８）相接的两不对称共面带线（９）之间连接有氮化钽电阻（２）；固支梁结 构（ｃ）以砷化镓为衬底（１）、在衬底（１）上的中间设有ＣＰＷ的信号线（１４），在ＣＰＷ的信号线（１４）的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，焦永昌，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]