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微电子机械微波频率检测器及其制备方法是一种结构非常简单，测量信号的幅度变大、不需要消耗直流功率，且便于集成的微电子机械微波频率检测器及其制备方法，该微电子机械微波频率检测器以砷化镓为衬底（１），在衬底（１）上设有功率分配器（ａ）、功率合成器...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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