【技术实现步骤摘要】
量产型高效光伏电池三合一镀膜设备
本专利技术涉及TOPcon电池背面钝化领域，尤其涉及量产型高效光伏电池三合一镀膜设备。
技术介绍
光伏发电技术作为环保新能源技术近年发展十分迅速，其中尤以晶硅电池技术最为成熟市场占有率最高。传统结构的晶硅电池效率已基本没有提升空间，急需开发新结构的更高效率的晶硅电池，目前比较有潜力且工艺可行性最高的为N型TOPCON电池，相较于常规铝背场电池和目前的PERC电池TOPCON电池效率可以提高1%以上，且只需在原有产线基础上增加部分设备即可。对于高效电池来说，晶硅片的表面钝化要求极高，所谓钝化是指通过在晶硅表面沉积一层薄膜，通过和表面硅悬挂键呈键以及薄膜内富含固定电荷形成内建电场的方式减少光生载流子在表面复合。常规电池钝化膜普遍采用的为氮化硅膜，目前各光伏企业的TOPCON电池选用的钝化膜结构为Al2O3/SiNx双层膜或SiO2/Al2O3/SiNx三层膜结构，其中SiO2和硅晶格匹配性更高化学钝化效果更好，Al2O3富含高浓度负电荷具有很好的场效应物理钝化效果，最外层SiNx膜兼具增加光线吸...
【技术保护点】
1.量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，其特征在于，包括有炉管结构、特气源系统、温控系统、所述炉管结构包括有石英管、法兰、固定板、炉门，所述石英管两端皆依次安装有固定板、法兰、炉门，所述法兰四周开设有若干进气孔，所述进气孔与石英管内部连通。/n
【技术特征摘要】
1.量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，其特征在于，包括有炉管结构、特气源系统、温控系统、所述炉管结构包括有石英管、法兰、固定板、炉门，所述石英管两端皆依次安装有固定板、法兰、炉门，所述法兰四周开设有若干进气孔，所述进气孔与石英管内部连通。
2.根据权利要求1所述的一种量产型量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，其特征在于，所述法兰在圆周方向上还设有冷却水进口、冷却水出口，所述冷却水进口通过冷却水环形通道与冷却水出口接通。
3.根据权利要求2所述的一种量产型量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，其特征在于，所述冷却水环形通道设置在法兰内部，通过冷却水进口通入冷水流经...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶俊，王军，吴杰，
申请(专利权)人：无锡赛瑞达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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