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本发明公开了量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，涉及TOPcon电池背面钝化领域，光伏企业的TOPCON电池选用的钝化膜结构为Al2O3/SiNx双层膜或SiO2/Al2O3/SiNx三层膜结构，上述三层膜结构通常需要三台以上设备来制作，本发...
该专利属于无锡赛瑞达科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡赛瑞达科技有限公司授权不得商用。

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