一种图形拆分方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种图形拆分方法及装置，在对图形拆分之前，确认图形中违反拆分规则的区域，拆分规则是根据图形的尺寸和间距确定的，选择包括违反拆分规则的区域进行切割。而后对图形中违反拆分规则之外的其他区域进行拆分。这样，先将违反拆分规则的区域切割成能够拆分的图形，而后对没有违反拆分规则的区域进行拆分，避免在图形拆分中由于违反拆分规则的区域而需要对图形进行多次拆分，提高图形拆分的效率，降低图形拆分的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种图形拆分方法及装置
本专利技术涉及集成电路设计领域，特别涉及一种图形拆分方法及装置。
技术介绍
图形拆分是将一套高密度的电路设计版图分解为多套独立低密度图形的流程设计，而后可以采取多次曝光和多次刻蚀将电路图形转移至晶圆，以避开高密度电路线宽过于紧密的光学极限。但是，在版图的拆分过程中，将一套高密度电路版图分解为多套独立低密度图形是按照拆分规则进行的，而拆分规则是人为设定的，在拆分后会出现违反拆分规则的区域。如果，一套高密度电路版图经过拆分后出现许多违反拆分规则的区域，需要考虑再次拆分，拆分次数越多，使得设计的周期越长，且光掩模的成本越高。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种图形拆分方法及装置，提高图形拆分的效率，降低图形拆分的成本。为实现上述目的，本专利技术有如下技术方案：一种图形拆分方法，包括：确认图形中违反拆分规则的区域，所述拆分规则根据所述图形的尺寸和间距确定；选择重点区域进行切割，所述重点区域包括所述违反拆分规则的区域；对所述图形中的其他区本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图形拆分方法，其特征在于，包括：/n确认图形中违反拆分规则的区域，所述拆分规则根据所述图形的尺寸和间距确定；/n选择重点区域进行切割，所述重点区域包括所述违反拆分规则的区域；/n对所述图形中的其他区域进行拆分，所述其他区域为所述图形中违反拆分规则之外的区域。/n

【技术特征摘要】
1.一种图形拆分方法，其特征在于，包括：
确认图形中违反拆分规则的区域，所述拆分规则根据所述图形的尺寸和间距确定；
选择重点区域进行切割，所述重点区域包括所述违反拆分规则的区域；
对所述图形中的其他区域进行拆分，所述其他区域为所述图形中违反拆分规则之外的区域。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述选择重点区域进行切割，所述重点区域包括所述违反拆分规则的区域，具体包括：
利用评分演算法对所述违反拆分规则的区域进行分割单元积分评比；
根据所述分割单元积分评比选择切割单元；
根据所述切割单元进行切割。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述选择重点区域进行切割，所述重点区域包括所述违反拆分规则的区域，具体包括：
利用加权演算法对所述重点区域进行分割单元积分评比；
根据所述分割单元积分评比选择切割单元；
根据所述切割单元进行切割。


4.根据权利要求1-3任意一项所述的方法，其特征在于，所述重点区域包括电力线区域。


5.根据权利要求1-3任意一项所述的方法，其特征在于，所述拆分规则包括：
最小允许周期...

【专利技术属性】
技术研发人员：张凯翔，柯思羽，陈冠廷，周育润，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37