【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种对在线微电子机械系统MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)磁性能进行测试的方法及这种方法所用的相关结构，特别是对薄膜磁学 性能测量的方法，如对MEMS的磁导率、磁化强度和矫顽力等的测量。技术背景在设计、制造MEMS器件如微机械传感器和微执行器中，薄膜是很重要的 构件。磁性MEMS器件，作为MEMS器件发展的一个重要方向，有着广泛的应 用前景。而薄膜材料的磁学特性对这些器件的性能有很大的影响，有些器件如 高密度磁性存储器，其性能就直接依赖于薄膜的磁学性质。MEMS薄膜磁学在 线测试结构为的是能实吋监控MEMS器件的行为，是磁性MEMS器件走向自动 化的必备部分，因此有着十分重要的意义。由于体材料的磁学性质和薄膜的磁学性质具有很大的差异性，薄膜材料的 磁学性质不能用体材料的磁学性质来代替。上个世纪90年代以来，国内外的专 家学者对薄膜磁性的测量作了很多有益的探索，相继提出了各种各样的测试方法，具有代表意义的有冲击法，磁轭法，罐形磁芯法，微波法，磁秤法等。上述传统的薄膜磁性测试结构，测量的都是宏观几何尺度上的...
【技术保护点】
测量在线微电子机械系统磁性能的方法，其特征是在微电子机械系统的同一基片上且与待测微电子机械系统旁，用与建立待测微电子机械系统相同的工艺条件建立一个陪管单元，在测量时通过测量陪管单元的磁性能，间接得到待测系统的磁性能。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘肃，刘林生，黄庆安，李伟华，
申请(专利权)人：兰州大学，
类型：发明
国别省市：62[中国|甘肃]
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