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本发明公开一种对在线微电子机械系统ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ　　Ｅｌｅｃｔｒｏ　　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　　Ｓｙｓｔｅｍｓ）磁性能进行测试的方法及这种方法所用的相关结构，特别是对薄膜磁学性能测量的方法，如对ＭＥＭＳ的磁导率、磁化强度和矫顽力等的测量...
该专利属于兰州大学所有，仅供学习研究参考，未经过兰州大学授权不得商用。

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