本发明专利技术提供的一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，属于检测设备技术领域，包括：XYZ移动平台，安装在底板上；测试件固定架，连接在XYZ移动平台上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆；测试件，连接在所述连接杆的底端；所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；或者，所述测试件包括:第一测试件和第二测试件，所述第一测试件具有底部平面，所述第二测试件具有侧壁弧形面；本发明专利技术的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，结构简单，测量精准，可反复使用，在同一个工装下，只需更换测试件，即可实现不同传感器的测量。
【技术实现步骤摘要】
一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装
本专利技术涉及检测设备
，具体涉及一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装。
技术介绍
位移传感器是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在测量距离时，直接使用位移传感器实测的输出数据，但是随着使用时间的增长，位移传感器精度下降，造成了位移传感器精度低、重复性差等缺点，通常使用校正装置进行校准。在测量的过程中，都是针对单探头的测量，通过千分尺与测试件相连，通过对比位移传感器显示的数据和千分尺的数据，实现位移传感器的校准。在使用过程中，需要将单探头安装到用于固定的安装座上，构成轴向传感器或径向传感器，但是在现有技术中，对于这种轴向传感器和径向传感器需要在不同的工装下分别检测。
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的一个检测工装无法对轴向和径向传感器均进行测量的缺陷，从而提供一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装。本专利技术提供的一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，包括：XYZ移动平台，安装在底板上；测试件固定架，连接在XYZ移动平台上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆；测试件，连接在所述连接杆的底端；所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；或者，所述测试件包括：第一测试件和第二测试件，所述第一测试件具有底部平面，所述第二测试件具有侧壁弧形面。作为优选方案，所述测试件固定架的伸出端上具有适于竖直插入所述连接杆的穿过孔，所述穿过孔的侧壁上具有开口，所述开口的两侧分别具有朝向径向方向延伸的延伸板。作为优选方案，两个所述延伸板的延伸段上分别具有适于穿入同一紧固件的通孔。作为优选方案，所述第二测试件具有对称设置的两个侧壁弧形面。作为优选方案，所述第二测试件还具有对称设置的两个侧壁垂直面。作为优选方案，所述第二测试件的上表面具有螺纹孔；所述连接杆上设置有与所述螺纹孔配合的外螺纹。作为优选方案，所述测试件固定架包括：竖板，与XYZ移动平台连接；横板，垂直于所述竖板设置，朝向所述测试件延伸；悬臂，一端与横板连接，另一端具有适于竖直插入所述连接杆的穿过孔。作为优选方案，所述横板上设置与悬臂的延伸方向一致的凹槽，所述悬臂卡接于所述凹槽内。作为优选方案，所述悬臂的下表面靠近所述横板的一端设置有限位面，所述限位面与所述横板的侧壁抵接。本专利技术技术方案，具有如下优点：1.本专利技术提供的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，包括：XYZ移动平台、测试件固定架和测试件；XYZ移动平台能在X、Y、Z三个方向实现精确移动；所述测试件具有底部平面和弧形侧壁面；底部平面可用于对轴向传感器的测量，通过XYZ移动平台驱动测试件在竖直方向上靠近轴向传感器，记录XYZ移动平台的距离，并与轴向传感器在该检测间距下对应的电参数进行对比，即可实现轴向传感器的检测和校验；所述弧形侧壁面可用于径向传感器的测量，通过XYZ移动平台驱动测试件在水平方向上靠近或远离径向传感器，记录XYZ移动平台的距离，并与径向传感器在该检测间距下对应的电参数进行对比，即可实现径向传感器的检测和校验；该检测工装，结构简单，测量精准，可反复使用；同时该检测件还可以包括具有底部平面的第一测试件和具有侧壁弧形面的第二测试件，在同一个工装下，只需更换测试件，即可实现不同传感器的测量。2.本专利技术提供的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，所述测试件固定架的伸出端上设置有穿过孔，所述穿过孔的侧壁上具有开口，所述开口的两侧分别具有朝向径向方向延伸的延伸板，所述延伸板上设置有通孔；将连接杆竖直插入到穿过孔内，通过紧固件穿到通孔内，调整紧固件，使得两块延伸板相互靠近，使得穿过孔的内壁贴紧连接杆，实现连接杆和测试件固定架的固定。3.本专利技术提供的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，所述第二测试件具有对称设置两个侧壁弧形面和两个侧壁垂直面；安装座内对称设置有多个传感器探头，第二测试件可以对他们同时进行测量。4.本专利技术提供的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，所述横板上设置有凹槽，所述悬臂卡接于所述凹槽内，实现对悬臂的限位，防止悬臂和测试件固定架发生相对的移动，影响检测精度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的轴向传感器的检测工装的立体结构示意图。图2为本专利技术的径向传感器的检测工装的立体结构示意图。图3为图1所示测试件固定架的立体结构示意图。图4为图1所示的悬臂的立体结构示意图。图5为图1所示的悬臂的俯视结构示意图。图6为图2所示的第二测试件的立体结构示意图。图7为本专利技术的第一安装座的立体结构示意图。图8为本专利技术的第二安装座的立体结构示意图。图9为本专利技术的第三安装座的立体结构示意图。附图标记说明：1、XYZ移动平台；2、支撑架；3、第一测试件；4、第二测试件；5、底板；6、竖板；7、横板；8、悬臂；9、凹槽；10、限位面；11、穿过孔；12、延伸板；13、通孔；14、侧壁弧形面；15、侧壁垂直面；16、第一安装座；17、第一安装孔；18、第一固定孔；19、第二安装座；20、第一容纳腔；21、第二安装孔；22、第二固定孔；23、第三安装座；24、第二容纳腔；25、第三安装孔；26、传感器单探头；27、径向传感器；28、轴向传感器；29、连接杆；30、螺纹孔。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。<本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，包括：/nXYZ移动平台(1)，安装在底板(5)上；/n测试件固定架，连接在XYZ移动平台(1)上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆(29)；/n测试件，连接在所述连接杆(29)的底端；/n所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；/n或者，所述测试件包括：第一测试件(3)和第二测试件(4)，所述第一测试件(3)具有底部平面，所述第二测试件(4)具有侧壁弧形面(14)。/n
【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，包括：
XYZ移动平台(1)，安装在底板(5)上；
测试件固定架，连接在XYZ移动平台(1)上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆(29)；
测试件，连接在所述连接杆(29)的底端；
所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；
或者，所述测试件包括：第一测试件(3)和第二测试件(4)，所述第一测试件(3)具有底部平面，所述第二测试件(4)具有侧壁弧形面(14)。
2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述测试件固定架的伸出端上具有适于竖直插入所述连接杆(29)的穿过孔(11)，所述穿过孔(11)的侧壁上具有开口，所述开口的两侧分别具有朝向径向方向延伸的延伸板(12)。
3.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，两个所述延伸板(12)的延伸段上分别具有适于穿入同一紧固件的通孔(13)。
4.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述第二测试件(4)具有对称设置的两个侧壁弧形面(14)。
【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，刘强，张亮，任世瑜，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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