【技术实现步骤摘要】
用于石墨热场的毛坯件加工设备及其加工方法
本专利技术涉及石墨加工
,尤其涉及用于石墨热场的毛坯件加工设备及其加工方法。
技术介绍
目前在单晶硅的生产当中,单晶硅生长炉是必不可少的一样生产工具,在单晶硅生长炉中主要设备为石墨热场,石墨热场一般由保温筒、加热器、石墨坩埚和石英坩埚组成。在石墨热场中还是存在一些不足之处,1)、坩埚不便于升降调节,为工作人员的操作带来不便,且传统的安装方式较为繁琐;2)、需要采用人工搅拌的方式进行搅拌,且无法对坩埚内的石墨材料进行均匀搅拌,而影响对石墨毛坯件生产;3)、在对坩埚内石墨材料进行搅拌时,无法保证坩埚开口端密封,导致石墨材料溅出,影响工人的人身安全。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的用于石墨热场的毛坯件加工设备。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:用于石墨热场的毛坯件加工设备,包括底板、弧形竖板、滑动机构、升降机构、搅拌机构,所述底板为水平横向放置的矩形板状,所述底板的顶面两端设有一对弧形竖 ...
【技术保护点】
1.用于石墨热场的毛坯件加工设备,包括底板(1)、弧形竖板(2)、滑动机构、升降机构、搅拌机构,其特征在于:所述底板(1)为水平横向放置的矩形板状,所述底板(1)的顶面两端设有一对弧形竖板(2),位于两块弧形竖板(2)中部设有支撑板(35),所述支撑板(35)中部凹陷有圆形通孔,所述圆形通孔内安装有坩埚筒(3),所述坩埚筒(3)的外侧面套设有保温筒(31),且所述保温筒(31)的外壁两侧通过多对滑动机构与支撑板(35)滑动连接;/n所述两块弧形竖板(2)正上方设有设有圆形盖板(4),所述圆形盖板(4)两端通过一对升降机构与对应的弧形竖板(2)活动连接;所述圆形盖板(4)的底 ...
【技术特征摘要】
1.用于石墨热场的毛坯件加工设备,包括底板(1)、弧形竖板(2)、滑动机构、升降机构、搅拌机构,其特征在于:所述底板(1)为水平横向放置的矩形板状,所述底板(1)的顶面两端设有一对弧形竖板(2),位于两块弧形竖板(2)中部设有支撑板(35),所述支撑板(35)中部凹陷有圆形通孔,所述圆形通孔内安装有坩埚筒(3),所述坩埚筒(3)的外侧面套设有保温筒(31),且所述保温筒(31)的外壁两侧通过多对滑动机构与支撑板(35)滑动连接;
所述两块弧形竖板(2)正上方设有设有圆形盖板(4),所述圆形盖板(4)两端通过一对升降机构与对应的弧形竖板(2)活动连接;所述圆形盖板(4)的底面设有密封套环(41),且所述密封套环(41)配合套设在坩埚筒(3)开口端外侧,所述圆形盖板(4)的顶面中部凹陷有电机孔,所述电机孔内安装有电机(42),所述电机(42)的电机轴端部设有联轴器,所述联轴器外侧输出端设有搅拌轴(43),所述搅拌轴(43)与搅拌机构同步转动。
2.根据权利要求1所述的用于石墨热场的毛坯件加工设备,其特征在于:所述底板(1)的底面四个拐角处均设有支撑座(11),所述底板(1)的顶面中部设有限位环(12),且限位环(12)位于坩埚筒(3)的底部正下方,所述坩埚筒(3)的底部外侧设有锥形环(32);位于限位环(12)内在底板(1)中部设有点火筒(13),所述点火筒(13)通过燃气管(14)与外接燃气罐连通,位于限位环(12)两外侧在底板(1)设有一对通风管(15)。
3.根据权利要求1所述的用于石墨热场的毛坯件加工设备,其特征在于:所述滑动机构包括滑筒(36)、滑杆(37)、第一伸缩缸(33),所述支撑板(35)的顶面两端设有多对滑筒(36),所述滑筒(36)内竖向插设有滑杆(37),所述滑杆(37)的上下两端均设有加固杆(34),且每根加固杆(34)里端均与保温筒(31)固接;位于滑杆(37)底端下方在底板(1)顶面安装有第一伸缩缸(33),所述第一伸缩缸(33)的伸缩杆端部与位于下方的加固杆(34)固接。
4.根据权利要求3所述的用于石墨热场的毛坯件加工设备,其特征在于:所述保温筒(31)外侧面均匀竖向凹陷有多条梯形滑槽,所述圆形通孔内侧面均匀竖向固接有多根梯形滑轨(38),且每根梯形滑轨(38)均滑动卡合在对应的梯形滑槽内。
5.根据权利要求1所述的用于石墨热场的毛坯件加工设备,其特征在于:所述升降机构包括升降底板(21)、第二伸缩缸(22)、加固板(24),所述弧形竖板(2)的外侧面中部设有升降底板(21),所述升降底板(21)顶面安装有第二伸缩缸(22),所述第二伸缩缸(22)的中部套设有加固环(23),所述加固环(23)与弧形竖板(2)的外侧面顶端固接;所述圆形盖板(4)的两端设有一对加固板(24),所述第二伸缩缸(22)的伸缩杆端部与加固板(24)的底面外端固接。
6.根据权利要求5所述的用于石墨热场的毛坯件加工设备,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭志宏,张培林,武建军,柴利春,张作文,王志辉,
申请(专利权)人:大同新成新材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:山西;14
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