用于石墨热场的毛坯件加工设备及其加工方法技术

技术编号:26296959 阅读:49 留言:0更新日期:2020-11-10 19:39
本发明专利技术公开了用于石墨热场的毛坯件加工设备,包括底板、弧形竖板、滑动机构、升降机构、搅拌机构,底板的顶面两端设有一对弧形竖板,位于两块弧形竖板中部设有支撑板,圆形通孔内安装有坩埚筒,坩埚筒的外侧面套设有保温筒,且保温筒的外壁两侧通过多对滑动机构与支撑板滑动连接;圆形盖板两端通过一对升降机构与对应的弧形竖板活动连接;电机的电机轴端部与搅拌机构同步转动本发明专利技术还公开了用于石墨热场的毛坯件加工设备的加工方法;本发明专利技术解决了坩埚不便安装升降、石墨材料搅拌不均匀及坩埚开口密封不严的问题,通过各机构的配合使用,简化了操作步骤,减轻了工人的劳动负担,提高了石墨材料加工生产的效率。

【技术实现步骤摘要】
用于石墨热场的毛坯件加工设备及其加工方法
本专利技术涉及石墨加工
,尤其涉及用于石墨热场的毛坯件加工设备及其加工方法。
技术介绍
目前在单晶硅的生产当中,单晶硅生长炉是必不可少的一样生产工具,在单晶硅生长炉中主要设备为石墨热场,石墨热场一般由保温筒、加热器、石墨坩埚和石英坩埚组成。在石墨热场中还是存在一些不足之处,1)、坩埚不便于升降调节,为工作人员的操作带来不便,且传统的安装方式较为繁琐;2)、需要采用人工搅拌的方式进行搅拌,且无法对坩埚内的石墨材料进行均匀搅拌,而影响对石墨毛坯件生产;3)、在对坩埚内石墨材料进行搅拌时,无法保证坩埚开口端密封,导致石墨材料溅出,影响工人的人身安全。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的用于石墨热场的毛坯件加工设备。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:用于石墨热场的毛坯件加工设备,包括底板、弧形竖板、滑动机构、升降机构、搅拌机构,所述底板为水平横向放置的矩形板状,所述底板的顶面两端设有一对弧形竖板,位于两块弧形竖板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于石墨热场的毛坯件加工设备,包括底板(1)、弧形竖板(2)、滑动机构、升降机构、搅拌机构,其特征在于:所述底板(1)为水平横向放置的矩形板状,所述底板(1)的顶面两端设有一对弧形竖板(2),位于两块弧形竖板(2)中部设有支撑板(35),所述支撑板(35)中部凹陷有圆形通孔,所述圆形通孔内安装有坩埚筒(3),所述坩埚筒(3)的外侧面套设有保温筒(31),且所述保温筒(31)的外壁两侧通过多对滑动机构与支撑板(35)滑动连接;/n所述两块弧形竖板(2)正上方设有设有圆形盖板(4),所述圆形盖板(4)两端通过一对升降机构与对应的弧形竖板(2)活动连接;所述圆形盖板(4)的底面设有密封套环(41...

【技术特征摘要】
1.用于石墨热场的毛坯件加工设备,包括底板(1)、弧形竖板(2)、滑动机构、升降机构、搅拌机构,其特征在于:所述底板(1)为水平横向放置的矩形板状,所述底板(1)的顶面两端设有一对弧形竖板(2),位于两块弧形竖板(2)中部设有支撑板(35),所述支撑板(35)中部凹陷有圆形通孔,所述圆形通孔内安装有坩埚筒(3),所述坩埚筒(3)的外侧面套设有保温筒(31),且所述保温筒(31)的外壁两侧通过多对滑动机构与支撑板(35)滑动连接;
所述两块弧形竖板(2)正上方设有设有圆形盖板(4),所述圆形盖板(4)两端通过一对升降机构与对应的弧形竖板(2)活动连接;所述圆形盖板(4)的底面设有密封套环(41),且所述密封套环(41)配合套设在坩埚筒(3)开口端外侧,所述圆形盖板(4)的顶面中部凹陷有电机孔,所述电机孔内安装有电机(42),所述电机(42)的电机轴端部设有联轴器,所述联轴器外侧输出端设有搅拌轴(43),所述搅拌轴(43)与搅拌机构同步转动。


2.根据权利要求1所述的用于石墨热场的毛坯件加工设备,其特征在于:所述底板(1)的底面四个拐角处均设有支撑座(11),所述底板(1)的顶面中部设有限位环(12),且限位环(12)位于坩埚筒(3)的底部正下方,所述坩埚筒(3)的底部外侧设有锥形环(32);位于限位环(12)内在底板(1)中部设有点火筒(13),所述点火筒(13)通过燃气管(14)与外接燃气罐连通,位于限位环(12)两外侧在底板(1)设有一对通风管(15)。


3.根据权利要求1所述的用于石墨热场的毛坯件加工设备,其特征在于:所述滑动机构包括滑筒(36)、滑杆(37)、第一伸缩缸(33),所述支撑板(35)的顶面两端设有多对滑筒(36),所述滑筒(36)内竖向插设有滑杆(37),所述滑杆(37)的上下两端均设有加固杆(34),且每根加固杆(34)里端均与保温筒(31)固接;位于滑杆(37)底端下方在底板(1)顶面安装有第一伸缩缸(33),所述第一伸缩缸(33)的伸缩杆端部与位于下方的加固杆(34)固接。


4.根据权利要求3所述的用于石墨热场的毛坯件加工设备,其特征在于:所述保温筒(31)外侧面均匀竖向凹陷有多条梯形滑槽,所述圆形通孔内侧面均匀竖向固接有多根梯形滑轨(38),且每根梯形滑轨(38)均滑动卡合在对应的梯形滑槽内。


5.根据权利要求1所述的用于石墨热场的毛坯件加工设备,其特征在于:所述升降机构包括升降底板(21)、第二伸缩缸(22)、加固板(24),所述弧形竖板(2)的外侧面中部设有升降底板(21),所述升降底板(21)顶面安装有第二伸缩缸(22),所述第二伸缩缸(22)的中部套设有加固环(23),所述加固环(23)与弧形竖板(2)的外侧面顶端固接;所述圆形盖板(4)的两端设有一对加固板(24),所述第二伸缩缸(22)的伸缩杆端部与加固板(24)的底面外端固接。


6.根据权利要求5所述的用于石墨热场的毛坯件加工设备,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭志宏张培林武建军柴利春张作文王志辉
申请(专利权)人:大同新成新材料股份有限公司
类型:发明
国别省市:山西;14

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