一种用来测试测试样品的电属性的探针制造技术

本发明专利技术涉及一种用来测试测试样品（５０８）的电属性的探针（５０２）。该探针可以包括主体（５０４），主体具有包括近端和与近端相对的远端的探针臂（５０６），该探针臂在探针臂近端，从主体延伸出来，由近端和远端限定出第一轴。进一步地，该探针臂可以具有几何部件，使探针臂可以沿着第一轴，并沿着垂直于第一轴的第二轴，并沿着与第一轴和第二轴限定的平面正交的第三轴弹性移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及 一 种用来测试测试样品的电属性的探针。
技术介绍
当进行电阻测量来确定测试样品的电属性时，测试探针包括一个或多个臂, 每个臂都带有用来建立至测试表面的电接触的尖端，使其接触到测试表面。本专利技术提供悬臂(横梁)几何形状，在悬臂尖端和测试样品表面之间形成 非插入静态接触。进一步地，本专利技术提供一种由悬臂(横梁)几何部件限定的 带有一个或多个悬臂的多悬臂探针。再进一步地，本专利技术提供设计纳机电系统(NEMS)和微机电系统(MEMS)的理论，以实现低磨损静态接触来改进机 械接触或机电接触的稳定性和寿命。微四点探针被用作导电和半导电表征薄膜和多层结构的测量工具。如图1 所示我们看到了表面和直线悬臂尖端之间接触中机械运动(滑动和振动)导致 悬臂尖端磨损。为了减少这种机械磨损并减少尖端向样品表面中的插入，设计 了弹性的悬臂以便一旦表面接触就获得非插入静态机械接触。相关的系统和方法可以在下述公开文献中找到，比如US 2004/072452、 US 2003/102878、 WO 2005/031376、 US 6,672,875、 US 2001/012739、 US 4,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用来测试测试样品的电属性的探针，所述探针包括：　　　　主体，具有包括近端和与近端相对的远端的探针臂，所述探针臂在所述探针臂的所述近端上，从所述主体延伸出来，主体还具有由所述近端和所述远端限定出的第一轴，　　　　所述探针臂具有几何部件，使所述探针臂可以沿着所述第一轴，并沿着垂直于所述第一轴的第二轴，并沿着与所述第一轴和第二轴限定的平面正交的第三轴弹性移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：德志佩特森，托本M汉森，彼得RE彼得森，
申请(专利权)人：卡普雷斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：DK[丹麦]