一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置，包括底座，所述底座的上端外表面固定安装有机体，所述机体的内部一侧开设有第一镀膜腔，所述机体的内部另一侧开设有第二镀膜腔，所述机体的内部位于第一镀膜腔与第二镀膜腔之间的位置固定安装有中间座，本实用新型专利技术所达到的有益效果是：在机体内设置第一镀膜腔和第二镀膜腔，可以根据靶材的不同选择不同的镀膜腔室，从而方便将板材进行镀膜，不同腔室之间通过中间座进行隔离，中间座的挡板上的通孔用于板材的移动，方便板材移动到不同的镀膜腔室，移动时通过抽气泵将混合的气体抽出，从而避免不同腔室中的气体混合，提高镀膜装置的镀膜效果。

【技术实现步骤摘要】
一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置
本技术涉及一种镀膜装置，特别涉及一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置，属于镀膜

技术介绍
板材镀膜的过程中，为了提高镀膜后板材的使用效果，板材镀膜需要利用多种靶材，根据不同的工艺需求将不同的靶材溅射到板材的外表面，用以提高板材的性能。现有的板材镀膜装置使用时，不同的靶材镀膜是在同一个镀膜腔中进行的，由于不同的靶材镀膜工艺需要的辅助气体不同，在同一个镀膜腔中溅射不同的靶材会造成气体的混合，从而影响板材的镀膜，因此，现在提出一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，现有的板材镀膜装置在使用时造成气体混合，从而影响板材镀膜的问题提供一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：本技术一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置，包括底座，所述底座的上端外表面固定安装有机体，所述机体的内部一侧开设有第一镀膜腔，所述机体的内部另一侧开设有第二镀膜腔，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上端外表面固定安装有机体(5)，所述机体(5)的内部一侧开设有第一镀膜腔(6)，所述机体(5)的内部另一侧开设有第二镀膜腔(7)，所述机体(5)的内部位于第一镀膜腔(6)与第二镀膜腔(7)之间的位置固定安装有中间座(8)，所述第一镀膜腔(6)的内部上端固定安装有阴极板(9)，所述阴极板(9)的下端固定安装有靶材(10)，所述第一镀膜腔(6)的内部下端固定安装有阳极板(11)，所述阳极板(11)的上端放置有板材(12)，所述第一镀膜腔(6)的下端一侧固定安装有真空泵(13)，所述第一镀膜腔(6)的下端另一...

【技术特征摘要】
1.一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上端外表面固定安装有机体(5)，所述机体(5)的内部一侧开设有第一镀膜腔(6)，所述机体(5)的内部另一侧开设有第二镀膜腔(7)，所述机体(5)的内部位于第一镀膜腔(6)与第二镀膜腔(7)之间的位置固定安装有中间座(8)，所述第一镀膜腔(6)的内部上端固定安装有阴极板(9)，所述阴极板(9)的下端固定安装有靶材(10)，所述第一镀膜腔(6)的内部下端固定安装有阳极板(11)，所述阳极板(11)的上端放置有板材(12)，所述第一镀膜腔(6)的下端一侧固定安装有真空泵(13)，所述第一镀膜腔(6)的下端另一侧固定连接有进气管(14)，所述中间座(8)的内部中间开设有空腔(15)，所述中间座(8)的两端均固定安装有挡板(16)，所述空腔(15)的上端固定安装有抽气泵(17)，所述挡板(16)的外表面开设有通孔(18)，所述通孔(18)的内部活动安装有闸板(19)，所述挡板(16)的上端外表面固定安装有气压缸(20)。


2.根据权利要求1所述的一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置，其特征在于，所述挡板(16)的数量为两...

【专利技术属性】
技术研发人员：温晓理，叶炳桂，
申请(专利权)人：江苏顶品家居有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32