环形振荡器速度测试结构制造技术

本发明专利技术揭示了一种环形振荡器速度测试结构，一小尺寸输出电路直接连接于环形振荡器电路，输出振荡器波形，其中，小尺寸输出电路的寄生电容足够小，使得环形振荡器电路的输出能够直接驱动小尺寸输出电路。采用本发明专利技术的技术方案，使用较小的输出电路，这样寄生电容也较小，使得环形振荡器电路的输出能够直接驱动输出电路，省去了缓存的使用，也不必再对环形振荡器电路的输出波形进行放大，有效提高了测试结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体领域的测试技术，更具体地说，涉及一种环形振荡 器的速度测试结构。
技术介绍
在VLSI应用中，环形振荡器的速度较快，为了测试环形振荡器的速 度，提供了多种测试的手段。常用的测试手段中，使用相对尺寸较大的输出电路，比如通常会采用 70x80平方微米的输出电路，该电路由于面积较大，会产生较大的寄生电 容，较大的寄生电容使得环形振荡器的环形电路的输出不足以直接驱动输 出电3各，而必须增加方文大电路。图1和图2示出了两种常用的测试结构。首先参考图1，该测试结构100包括环形振荡电路102,产生振荡波形；緩存104,连接到环形振荡电路102，緩存104的作用是将输入信号 放大，使之足以驱动后续的电路，在该实施例中，緩存104将环形振荡电 路102产生的振荡波形放大；触发器106,连接到緩存104,在该实施例中，緩存104的放大功能 使得经放大后振荡波形能够驱动触发器106，触发器106将把振荡波形的 周期放大，即把波形拉长，以使得波形周期容易被分辨，从而确定环形振 荡电路的速度；输出电路108,将经放大和拉长后的振荡波形输出。在上述的电路100中，可见緩存104需要驱动触发器106,而触发器 106又与输出电路108相连，所以实际上，緩存104除了需要驱动触发器 106之外，还需要考虑由于输出电路108的寄生电路而产生的影响。结果， 使得緩存104的放大要求较高。由于电路100中，使用了放大倍数较大的緩存104,并且使用了较多 的器件(緩存104和触发器106)，使得波形的失真比较严重。因此，最 后得到的结果误差较大。针对上述的不足，提出了图2的测试结构200。在图2所示的测试结 构200中，取消了触发器，环形振荡电路202产生的振荡波形经过緩存204 后直接输入输出电路206,在输出电路中，集成了反向器器件来实现延迟， 从而将振荡波形的周期放大，使得其周期能够方便地被识别。在图2所示的电路200中，由于緩存204只需要驱动输出电路206, 因此放大的倍数可以减小。这样，整个电路200中的器件数量较少，波形 的放大倍数也减小了，因此波形的失真较小，最终得到的结果的误差比电 路100有显著的改善。但是，图2中所示的电路200中的驱动输出电路206的面积仍然达到 了 70x 80平方微米，因此，其寄生电容依然比较大，使得环形振荡电路 202的输出还是不能直接驱动输出电路206,最终结果中还是存在一定的 误差。所以，业内 一直在寻找如何进一步降低测试结果误差的方法。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种新的环形振荡器的速度测试结构，提供小尺寸的 输出电路来取代原来使用的相对尺寸较大的输出电路，从而有效地减小寄 生电容，省去緩存，也不对振荡波形进行放大处理，以使得测试的结果更 力口准确。根据本专利技术，提供一种环形振荡器速度测试结构，包括一小尺寸输出 电路，直接连接于环形振荡器电路，输出振荡器波形，其中，小尺寸输出 电路的寄生电容足够小，使得环形振荡器电路的输出能够直接驱动所述小 尺寸输出电路。根据一实施例，小尺寸输出电路中包括延迟电路，以放大波形周期。 比如，延迟电路包括数个反向器。根据一实施例，小尺寸输出电路的尺寸为小于等于10x 10平方微米。较佳的，小尺寸输出电路的尺寸为小于等于5x5平方微米。更佳的，小尺 寸输出电路的尺寸为小于等于2 x 2平方微米。采用本专利技术的技术方案，使用较小的输出电路，这样寄生电容也较小， 使得环形振荡器电路的输出能够直接驱动输出电路，省去了緩存的使用， 也不必再对环形振荡器电路的输出波形进行放大，有效提高了测试结果的 准确性。附图说明本专利技术上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图对实 施例的描述而变得更加明显，在附图中，相同的附图标记始终表示相同的 特征，其中，图1是现有技术中的 一种测试结构的机构图2是现有技术中的另一种测试结构的结构图3是根据本专利技术的一实施例的速度测试结构的结构图。具体实施例方式在传统技术中，由于采用的输出电路的面积较大，因此具有较大的寄 生电容，这样就使得环形振荡器电路的输出不能直接驱动输出电路。其实， 面积较小的输出电路也能够用于实现波形输出的功能，比如，目前通用的 70x 80平方微米的输出电路的基本功能也可以用小的输出电路，比如10 x10平方微米、5x5平方微米甚至2x2平方微米的输出电路实现。这些 小尺寸的输出电路具有很小的寄生电容，环形振荡器电路的输出足以直接 驱动这些小尺寸的输出电路。参考图3，本专利技术提供了一种环形振荡器速度测试结构300，包括环形振荡器电路302，输出振荡波形；小尺寸输出电路304,直接连接于环形振荡器电路302，输出振荡器 波形，其中，小尺寸输出电路304的寄生电容足够小，使得环形振荡器电 路302的输出能够直接驱动小尺寸输出电路304。根据图3所示的实施例，该小尺寸输出电路304中包括延迟电路，以放大波形周期。延迟电路可以包括数个反向器。对于小尺寸输出电路的具体尺寸，可以小于等于10x10平方微米。较佳的，可以小于等于5x5平方微米。最佳的，可以小于等于2x2平方 微米。对于输出电路尺寸的选择，越小的输出电路的寄生电容越小，越容 易驱动，但是还需要考虑的问题是能够实现波形输出的基本功能，以及现 有的仪器能够实现测量。采用本专利技术的技术方案，使用较小的输出电路，这样寄生电容也较小， 使得环形振荡器电路的输出能够直接驱动输出电路，省去了緩存的使用， 也不必再对环形振荡器电路的输出波形进行放大，有效提高了测试结果的 准确性。上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本专利技术的，熟 悉本领域的人员可在不脱离本专利技术的专利技术思想的情况下，对上述实施例做 出种种修改或变化，因而本专利技术的保护范围并不被上述实施例所限，而应 该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。权利要求1.一种环形振荡器速度测试结构，其特征在于，一小尺寸输出电路，直接连接于环形振荡器电路，输出振荡器波形，其中，所述小尺寸输出电路的寄生电容足够小，使得环形振荡器电路的输出能够直接驱动所述小尺寸输出电路。2. 如权利要求1所述的环形振荡器速度测试结构，其特征在于， 所述小尺寸输出电路中包括延迟电路，以放大波形周期。3. 如权利要求2所述的环形振荡器速度测试结构，其特征在于， 所述延迟电路包括数个反向器。4. 如权利要求1所述的环形振荡器速度测试结构，其特征在于， 所述小尺寸输出电路的尺寸为小于等于10 x 10平方微米。5. 如权利要求4所述的环形振荡器速度测试结构，其特征在于， 所述小尺寸输出电路的尺寸为小于等于5x5平方微米。6. 如权利要求5所述的环形振荡器速度测试结构，其特征在于， 所述小尺寸输出电路的尺寸为小于等于2 x 2平方微米。全文摘要本专利技术揭示了一种环形振荡器速度测试结构，一小尺寸输出电路直接连接于环形振荡器电路，输出振荡器波形，其中，小尺寸输出电路的寄生电容足够小，使得环形振荡器电路的输出能够直接驱动小尺寸输出电路。采用本专利技术的技术方案，使用较小的输出电路，这样寄生电容也较小，使得环形振荡器电路的输出能够直接驱动输出电路，省去了缓存的使用，也不必再对环形振荡器电路的输出波形进行放大，有效提高了测试结果的准确性。文档编号G0本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种环形振荡器速度测试结构，其特征在于，　一小尺寸输出电路，直接连接于环形振荡器电路，输出振荡器波形，其中，所述小尺寸输出电路的寄生电容足够小，使得环形振荡器电路的输出能够直接驱动所述小尺寸输出电路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：彭兴伟，王伟，赵芳芳，何佳，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]