【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及力传感器，特别是在其拉-压结构中含有两个力敏感元件的力传感器。减少力传感系统误差的常规方法是采用拉压结构，其中配置两个沿相反方向受力的匹配良好的力敏感元件。采用这种结构的目的是为了削除种种共模误差，如偶级非线性误差，温度灵敏性偏差，时标灵敏性误差，老化漂移偏差和受力灵敏性误差等。当在物理装置中采用这种拉压结构时，比如说，在一个摆式加速度计中使用两个力敏感元件，它们均与一个常规检测体连接，这时就会出现一些问题。两个力敏感元件通常沿垂直或平行加速度计摆轴方向呈拉伸状态。在这一结构中，支撑体/检测体元件和力敏感元件之间的任何热膨失配均会产生热应变，并产生较大的共模式误差信号，即便采用信号处理技术，也只能消除该误差的一部分。因此就需要力敏感元件对于所有灵敏性均呈物理匹配，以提供高标准的常态衰减，而这种紧密匹配通常是难以实现的。本专利技术提供了一种以单体型结构配置的拉-压力传感器。这种传感器可连接在如一个加速度计的检测体和支撑体之间，以形成一个具有更好抑制共模误差的传感器。在第一最佳实施例中，这种力传感器包括由结晶基底构成的单元体。这种单元体包括有用于将...
【技术保护点】
一种可附接在第一和第二结构体（７２、７４、９０、９２、１３０、１３２）之间的力传感器，该传感器包括有由晶体基底形成的单元体（４０、８０、１０８），该单元体包括：分别用于将力传感器安装到第一和第二结构体上的固定元件（４２、４４、８４、１１ ０、１１２）；第一和第二力敏感元件（４６、４８、８６、８８、１１４、１１６），每一力敏感元件均具有第一和第二端部（６２、６４、５２、５４），由各力敏感元件的第二端部向第一端部延伸的线确定了各力敏感元件的的力敏感轴（２６，３６），每一力敏 感元件对沿其力敏感轴两方向任一方所向上施加的力是敏感的，各力敏感元件被定位于使其力感应轴彼此...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：布赖恩L诺林格，
申请(专利权)人：森德斯特兰德数据控制公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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