下载单体型拉-压力传感器的技术资料

文档序号:2626492

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本发明为一种包括由晶体基底形成的单元体的拉—压力传感器。主体包括第一和第二固定元件用以将力传感器固定于第一和第二构件,且第一和第二敏感元件连接于固定元件。每一力敏感元件包括有第一和第二端部。第一力敏感元件的第一端部连接于第二固定元件,第二端...
该专利属于森德斯特兰德数据控制公司所有,仅供学习研究参考,未经过森德斯特兰德数据控制公司授权不得商用。

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