带改进型检测电路的微机械加速度计制造技术

技术编号:2626403 阅读:165 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
采用微机械部件测量加速度的装置。一实施例有一个或多个加速度部件,每个部件有一片状物,并用一柔性铰链在其两端悬置该片状物。响应于加速度,片状物可绕轴沿第一和第二转动方向偏转。每个部件还有电极,当片状物沿任一方向偏转时,用电极来感知片状物的偏转根据偏转是接解式、非接触式还是反馈式,不同的检测电路以不同的方式工作。(*该技术在2015年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及加速度计,特别涉及用微机械器件做成并具有改进的检测电路的加速度计。位置敏感加速度计的基本工作原理是,加速度计所受到的加速度将迫使它所附的片状物沿其敏感轴的方向移动。这块片状物附于一抵消片状物运动的弹簧或类似元件上,从而该片状物运动,直到来自弹簧的力与由于加速度而使片状物受到的力相平衡。测量片状物的移动允许对加速度进行测量。其他的加速度计是应变测量加速度计,它具有压电或压阻材料,它能检测由惯性片状物产生的应力或由该片状物支承弹簧产生的应变。应用加速度计的场合包括防锁制动系统、车辆悬挂系统、飞行中的飞行器监视等,所有这些应用都要求小型、廉价和可靠的器件。对于实时监视,由排成一排的数字式处理器件来控制加速度计和解释其输出。大多数加速度计是模拟的,意思是说,被测量是随加速度的大小或频率改变的电流量。然而,有些加速度计是数字式的,意思是说,响应于加速度的预定值而作电气接触。提供一系列检测部件,每一个部件有一逐渐增大的响应阈值,而当达到阈值时,每一个部件都作电气接触。在名为“与集成电路工艺兼容的微小型成套阈值加速度计”的文章中描写了具有这种性质的数字式加速度计,该文载于1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机械数字式加速度计,其特征在于,包括:至少一个加速度敏感部件和一个检测电路,加速度敏感部件有:一块片状物、至少一个支承所述片状物的柔性铰链以及在所述片状物下的一个电极,每当响应于加速度力,所述片状物移离其正常位置(这时铰链不变形) 时,所述铰链就变形,检测电路在电气上连至所述电极,用以检测所述片状物移离所述正常位置的移动;其中,当所述片状物偏转但不接触所述电极时,所述片状物向所述电极偏转,而所述检测电路检测所述片状物的这一位置改变。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:罗伯特M博伊塞尔
申请(专利权)人:德克萨斯仪器股份有限公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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